A*真空应用设备

一、离子束刻蚀系统 1台，用于低维电子器件刻蚀 1、极限真空度：≤8.5×10-5； 2、样品台台面为钛合金材料，直径为≥150mm；样品台自转速率：0-20RPM； 3、离子能量可调范围：0-1000eV；0-100mA。 二、手套箱2台，用于低维材料的制备 1、内部尺寸长*宽*高≥1500*750*900mm； 2、水氧指标小于1ppm； 三、光学显微镜 2台，用于二维材料与器件的制备 1、放大倍数：50X-1000X； 2、光学系统：无限远色差校正光学系统，齐焦距离≤45mm，管镜焦距≤180mm； 3、附带旋转台和位移台。 四、等离子体清洗机 1台，用于二维材料与器件的制备 1、PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式； 2、射频频率13.56MHz，射频功率10-150W无极可调； 五、真空管式退火炉系统，用于低能耗电子器件制造 1、极限真空度：空载冷态5×10-5Pa； 2、使用温度：1200℃；温控形式：SSR智能PID可编程 六、磁控溅射与反溅系统，1台 1、反溅样品台：四工位样品台1套，手动旋转，带反溅清洗功能，配备射频电源同轴接口；配套射频电源1套； 2、可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构样品，可制备金属膜，金、铂、Ti和Cr等； 3、腔体极限真空度：6.6×10-5Pa； 七、交流磁化率测试模块,1台 1、适用于直流磁化率和交流磁化率测量； 2、直线电机行程范围12cm； 3、灵敏度：1X10-8 emu/Oe； 4、Cernox 1050温度计和低温加热器； 5、与PPMS兼容； 八、二次谐波共聚焦偏振拉曼光谱系统，1套 1、正置明场显微镜； 2、Omni-λ系列320mm焦距光谱仪； 3、激光模组； 4、显 (略) ； 5、物镜； 九、CCD探测器，1台 2000x256像元，15um像素，30x3.8mm芯片尺寸；可见近红外拉曼专用CCD，背照式深耗尽型芯片,量子效率在700nm-87 (略) 间处>90%；-60°深制冷 十、外接激光接口，1套 用于拓展外置激光器；所拓展激光器的光纤输出接口为FC；包含单模光纤准直器； 十、线偏振起偏与检偏器，1套 360°连续调节，绝对定位精度±0.14°，物镜下消光比≥100:1，1/2玻片波段350-850nm消色差 十一、线偏振起偏器，1套 电动线偏振起偏，360°连续调节，绝对定位精度±0.14°，物镜下消光比≥100:1，1/2玻波段690 - 1200 nm消色差 十二、飞秒激光器，1台 1030nm±3nm,平均功率大于100mW,36MHz±1MHz,光纤输出，脉宽<150fs； (略) 中的低通滤光片和二倍频带通滤光片。

A*真空应用设备

一、离子束刻蚀系统 1台，用于低维电子器件刻蚀 1、极限真空度：≤8.5×10-5； 2、样品台台面为钛合金材料，直径为≥150mm；样品台自转速率：0-20RPM； 3、离子能量可调范围：0-1000eV；0-100mA。 二、手套箱2台，用于低维材料的制备 1、内部尺寸长*宽*高≥1500*750*900mm； 2、水氧指标小于1ppm； 三、光学显微镜 2台，用于二维材料与器件的制备 1、放大倍数：50X-1000X； 2、光学系统：无限远色差校正光学系统，齐焦距离≤45mm，管镜焦距≤180mm； 3、附带旋转台和位移台。 四、等离子体清洗机 1台，用于二维材料与器件的制备 1、PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式； 2、射频频率13.56MHz，射频功率10-150W无极可调； 五、真空管式退火炉系统，用于低能耗电子器件制造 1、极限真空度：空载冷态5×10-5Pa； 2、使用温度：1200℃；温控形式：SSR智能PID可编程 六、磁控溅射与反溅系统，1台 1、反溅样品台：四工位样品台1套，手动旋转，带反溅清洗功能，配备射频电源同轴接口；配套射频电源1套； 2、可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构样品，可制备金属膜，金、铂、Ti和Cr等； 3、腔体极限真空度：6.6×10-5Pa； 七、交流磁化率测试模块,1台 1、适用于直流磁化率和交流磁化率测量； 2、直线电机行程范围12cm； 3、灵敏度：1X10-8 emu/Oe； 4、Cernox 1050温度计和低温加热器； 5、与PPMS兼容； 八、二次谐波共聚焦偏振拉曼光谱系统，1套 1、正置明场显微镜； 2、Omni-λ系列320mm焦距光谱仪； 3、激光模组； 4、显 (略) ； 5、物镜； 九、CCD探测器，1台 2000x256像元，15um像素，30x3.8mm芯片尺寸；可见近红外拉曼专用CCD，背照式深耗尽型芯片,量子效率在700nm-87 (略) 间处>90%；-60°深制冷 十、外接激光接口，1套 用于拓展外置激光器；所拓展激光器的光纤输出接口为FC；包含单模光纤准直器； 十、线偏振起偏与检偏器，1套 360°连续调节，绝对定位精度±0.14°，物镜下消光比≥100:1，1/2玻片波段350-850nm消色差 十一、线偏振起偏器，1套 电动线偏振起偏，360°连续调节，绝对定位精度±0.14°，物镜下消光比≥100:1，1/2玻波段690 - 1200 nm消色差 十二、飞秒激光器，1台 1030nm±3nm,平均功率大于100mW,36MHz±1MHz,光纤输出，脉宽<150fs； (略) 中的低通滤光片和二倍频带通滤光片。