2024年11月政府采购意向-高功率非晶态材料沉积系统详细情况万元人民币
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2024年11月政府采购意向-高功率非晶态材料沉积系统详细情况万元人民币
| 高功率非晶态材料沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京理工大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京理工大学 |
| 采购项目名称： | 高功率非晶态材料沉积系统 |
| 预算金额： | 131.#万元(人民币) |
| 采购品目： | 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备主要参数要求：主要技术指标：极限真空度≤10-6 Pa；分子泵抽气速率≥600 L/s；真空漏率≤10-8 Pa？L/s；靶材尺寸和数量：2英寸、6只；溅射功率：直流电源数量4台、功率≥500W，射频电源数量2台、功率≥1000W，要求搭载负偏压；样品台可加热温度：25-800℃，控温精度≤ 1 度，可在0-30转/分连续可调；控制精度：薄膜均匀性优于±3%；系统需配有薄膜厚度实时监 (略) 流量控制计，可通氩、氧、 (略) 气体。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高功率非晶态材料沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京理工大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京理工大学 |
| 采购项目名称： | 高功率非晶态材料沉积系统 |
| 预算金额： | 131.#万元(人民币) |
| 采购品目： | 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备主要参数要求：主要技术指标：极限真空度≤10-6 Pa；分子泵抽气速率≥600 L/s；真空漏率≤10-8 Pa？L/s；靶材尺寸和数量：2英寸、6只；溅射功率：直流电源数量4台、功率≥500W，射频电源数量2台、功率≥1000W，要求搭载负偏压；样品台可加热温度：25-800℃，控温精度≤ 1 度，可在0-30转/分连续可调；控制精度：薄膜均匀性优于±3%；系统需配有薄膜厚度实时监 (略) 流量控制计，可通氩、氧、 (略) 气体。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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