2024年政府采购意向公开第33批-多腔薄膜沉积联合系统
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2024年政府采购意向公开第33批-多腔薄膜沉积联合系统
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京大学2024年政府采购意向公开（第33批）政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 多腔薄膜沉积联合系统 | * | A* 真空应用设备 | 南京大学拟采购多腔薄膜沉积联合系统一套，由一套超高真空磁控溅射系统、一套电子束蒸发镀膜系统和一套进样系统组成。主要参数需求如下：一、超高真空磁控溅射：1. 样品尺寸：4英寸；2. 溅射腔室极限真空：10-8Pa量级；3. 溅射腔室正面设有铰链DN300手动快开门，双密封结构；4. 样品台加热温度：800℃，靶基距调节范围100mm，样品台旋转0-20rpm；5. 靶枪及电源：2个2英寸超高真空靶枪，1个直流电源和1个射频电源；6. 工艺气体：3路气体进气，氩气，氧气，氮气；配有工艺稳压模块；7. 膜厚均匀性优于±5%。二、电子束蒸发镀膜系统：1. 样品尺寸：4英寸；2. 电子束蒸发沉积系统极限真空：10-6Pa量级；3. 水冷样品台：4英寸样品，样品台旋转0-10rpm连续可调；偏摆角度可调0-50°（不破真空且样品台旋转连续旋转时）；生长距离调节范围50mm（生长距离550mm）；4. 电子束蒸发源：电子束蒸发源 6x4cc，电源功率5kW；5. 膜厚均匀性优于±5%。三、进样系统：1. 进样系统与超高真空磁控溅射系统及电子束蒸发镀膜系统对接；2. 进样系统极限真空：10-5Pa量级；3. 可以实现5个4英寸样品的储存及快速进样。仪器质保期需求：12个月。 | 198 | 2024年11月 | |
| 2 | 南京大学浦口、 (略) 通勤车服务 | * | C* 道路客运服务 | 南京大学师生往返 (略) 和 (略) 的通勤班车服务（寒暑假、节假日除外） | 140 | 2024年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。潜在供应商如拟介绍企业信息或产品信息，*@*ttp://**；邮件名称务必为对应项目的“意向编号+采购项目名称”。
南京大学招标办公室
2024年10月12日
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京大学2024年政府采购意向公开（第33批）政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 多腔薄膜沉积联合系统 | * | A* 真空应用设备 | 南京大学拟采购多腔薄膜沉积联合系统一套，由一套超高真空磁控溅射系统、一套电子束蒸发镀膜系统和一套进样系统组成。主要参数需求如下：一、超高真空磁控溅射：1. 样品尺寸：4英寸；2. 溅射腔室极限真空：10-8Pa量级；3. 溅射腔室正面设有铰链DN300手动快开门，双密封结构；4. 样品台加热温度：800℃，靶基距调节范围100mm，样品台旋转0-20rpm；5. 靶枪及电源：2个2英寸超高真空靶枪，1个直流电源和1个射频电源；6. 工艺气体：3路气体进气，氩气，氧气，氮气；配有工艺稳压模块；7. 膜厚均匀性优于±5%。二、电子束蒸发镀膜系统：1. 样品尺寸：4英寸；2. 电子束蒸发沉积系统极限真空：10-6Pa量级；3. 水冷样品台：4英寸样品，样品台旋转0-10rpm连续可调；偏摆角度可调0-50°（不破真空且样品台旋转连续旋转时）；生长距离调节范围50mm（生长距离550mm）；4. 电子束蒸发源：电子束蒸发源 6x4cc，电源功率5kW；5. 膜厚均匀性优于±5%。三、进样系统：1. 进样系统与超高真空磁控溅射系统及电子束蒸发镀膜系统对接；2. 进样系统极限真空：10-5Pa量级；3. 可以实现5个4英寸样品的储存及快速进样。仪器质保期需求：12个月。 | 198 | 2024年11月 | |
| 2 | 南京大学浦口、 (略) 通勤车服务 | * | C* 道路客运服务 | 南京大学师生往返 (略) 和 (略) 的通勤班车服务（寒暑假、节假日除外） | 140 | 2024年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。潜在供应商如拟介绍企业信息或产品信息，*@*ttp://**；邮件名称务必为对应项目的“意向编号+采购项目名称”。
南京大学招标办公室
2024年10月12日
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