2024年11月政府采购意向-光刻机 1505G6详细情况万元人民币

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2024年11月政府采购意向-光刻机 1505G6详细情况万元人民币

光刻机(Nikon NSR 1505G6
项目所在采购意向: 浙江大学2024年11月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 光刻机(Nikon NSR 1505G6
预算金额: 180.(略)万元(人民币)
采购品目:
A(略)
采购需求概况 :
本项目拟采购1台光刻机:分辨率0.8μm、套刻精度150nm、Stepping精度110nm。 经过详细调研与反复确认尼康 NSR1505G6型光刻机,具有完备的系统组成,包含了整机框架与控制体、曝光光学系统、掩膜台、掩膜传输、工件台、工件、对准、调焦调平、减震、环境等完整的功能子集,在性能上也具备了优秀的精度和稳定性表现,且能够支撑学校的培训与培养需求。
预计采购时间: 2024-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,浙江
光刻机(Nikon NSR 1505G6
项目所在采购意向: 浙江大学2024年11月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 光刻机(Nikon NSR 1505G6
预算金额: 180.(略)万元(人民币)
采购品目:
A(略)
采购需求概况 :
本项目拟采购1台光刻机:分辨率0.8μm、套刻精度150nm、Stepping精度110nm。 经过详细调研与反复确认尼康 NSR1505G6型光刻机,具有完备的系统组成,包含了整机框架与控制体、曝光光学系统、掩膜台、掩膜传输、工件台、工件、对准、调焦调平、减震、环境等完整的功能子集,在性能上也具备了优秀的精度和稳定性表现,且能够支撑学校的培训与培养需求。
预计采购时间: 2024-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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