2024年11月政府采购意向-激光直写刻蚀机详细情况万元人民币
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2024年11月政府采购意向-激光直写刻蚀机详细情况万元人民币
| 激光直写刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京理工大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京理工大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写刻蚀机 |
| 预算金额： | 256.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略) 激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：激光直写刻蚀机 采购数量：1 性能指标： （1）激光器：355nm飞秒紫外激光器 （2）激光器功率：额定10W飞秒紫外激光器 （3）激光器脉冲宽度：＜350fs （4）激光器频率范围：25Hz-5000kHz （5）扩束镜：2-8x扩束 （6）扫描振镜：10mm通光孔径 （7）单次切割幅面：40*40mm （8）扫描速度：最大速度4000mm/s （9）最小聚焦光斑：5μm （10）最小线宽：3μm （11）最小线间距：大于等于5μm （12）加工幅面：300*300mm向下可兼容等任意尺寸 （13）XY直线电机定位精度：±2μm （14）直线度：±3μm （15）XY直线电机垂直度：±5μm/300mm （16）XY直线电机重复精度：±1μm （17）XY直线电机最大速度：500mm/s （18）Z轴行程：50mm （19）步进电机精度：±5μm（可兼容0.01-10mm基材厚度） （20） (略) ：平台直径300mm、载重80kg、重复定位精度 ＜0.005° （21）CCD自动定位精度：±2μm （22）平台平面度：±5μm （23）配置手套箱 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 激光直写刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京理工大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京理工大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写刻蚀机 |
| 预算金额： | 256.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略) 激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：激光直写刻蚀机 采购数量：1 性能指标： （1）激光器：355nm飞秒紫外激光器 （2）激光器功率：额定10W飞秒紫外激光器 （3）激光器脉冲宽度：＜350fs （4）激光器频率范围：25Hz-5000kHz （5）扩束镜：2-8x扩束 （6）扫描振镜：10mm通光孔径 （7）单次切割幅面：40*40mm （8）扫描速度：最大速度4000mm/s （9）最小聚焦光斑：5μm （10）最小线宽：3μm （11）最小线间距：大于等于5μm （12）加工幅面：300*300mm向下可兼容等任意尺寸 （13）XY直线电机定位精度：±2μm （14）直线度：±3μm （15）XY直线电机垂直度：±5μm/300mm （16）XY直线电机重复精度：±1μm （17）XY直线电机最大速度：500mm/s （18）Z轴行程：50mm （19）步进电机精度：±5μm（可兼容0.01-10mm基材厚度） （20） (略) ：平台直径300mm、载重80kg、重复定位精度 ＜0.005° （21）CCD自动定位精度：±2μm （22）平台平面度：±5μm （23）配置手套箱 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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