2024年11月至12月政府采购意向公开
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2024年11月至12月政府采购意向公开
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将华中科技大学2024年11月至12月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试 | YX(略) | C(略)其他服务 | MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试，MEMS月震计芯片鉴定件及正样件各10个晶圆。 采购内容及指标： （1）MEMS光刻显影工艺加工及检测：光刻精度1um （2）MEMS金属镀膜工艺加工及检测：镀膜厚度300nm±30nm； （3）MEMS介质膜工艺技工及检测：镀膜厚度1200nm±100nm （4）MEMS电镀工艺加工及检测：电镀均匀性优于±2um （5）MEMS深硅刻蚀工艺加工及检测：刻蚀深度大于500um，陡直度优于90±0.8度 | 190 | 2024年11月 | |
| 2 | 电子束蒸发镀膜机 | YX(略) | A(略)真空应用设备 | 电子束蒸发镀膜机，用于半导体工艺中各种金属膜，反射膜的制备，要求系统全自动，稳定可靠，4英寸圆片上成膜不均匀性≤±3%，重复性高，炉间不均匀性≤±3%，工作真空度要求6E-6Torr，镀膜速率0~10埃/S可调，腔体可加热，可公转自转自由切换。蒸发200nm金膜片上温度不超过70度。载片量：2英寸圆片不少于10片；4英寸圆片不少于8片。 | 160 | 2024年11月 | |
| 3 | 华中科技大学附属中学（ (略) ）教学楼修缮工程 | YX(略) | B(略)房屋修缮 | 华中科技大学附属中学（ (略) ）教学楼部分外墙面开裂、脱落，教室复合地板泡水损坏，瓷砖空鼓，为了给师生提供一个安全、舒适的学习、生活环境，亟需对教学楼进行整体修缮。拟对外墙整体防水保温，室内地面、天棚、墙面、门窗等进行改造。具体以本项目工程量清单及初步设计图为准。计划工期：40天；质保期：整体2年，其中屋面防水质保期5年。质量标准：国家验收规范合格标准。 | 220 | 2024年12月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华中科技大学采购与招标中心
2024年10月16日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将华中科技大学2024年11月至12月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试 | YX(略) | C(略)其他服务 | MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试，MEMS月震计芯片鉴定件及正样件各10个晶圆。 采购内容及指标： （1）MEMS光刻显影工艺加工及检测：光刻精度1um （2）MEMS金属镀膜工艺加工及检测：镀膜厚度300nm±30nm； （3）MEMS介质膜工艺技工及检测：镀膜厚度1200nm±100nm （4）MEMS电镀工艺加工及检测：电镀均匀性优于±2um （5）MEMS深硅刻蚀工艺加工及检测：刻蚀深度大于500um，陡直度优于90±0.8度 | 190 | 2024年11月 | |
| 2 | 电子束蒸发镀膜机 | YX(略) | A(略)真空应用设备 | 电子束蒸发镀膜机，用于半导体工艺中各种金属膜，反射膜的制备，要求系统全自动，稳定可靠，4英寸圆片上成膜不均匀性≤±3%，重复性高，炉间不均匀性≤±3%，工作真空度要求6E-6Torr，镀膜速率0~10埃/S可调，腔体可加热，可公转自转自由切换。蒸发200nm金膜片上温度不超过70度。载片量：2英寸圆片不少于10片；4英寸圆片不少于8片。 | 160 | 2024年11月 | |
| 3 | 华中科技大学附属中学（ (略) ）教学楼修缮工程 | YX(略) | B(略)房屋修缮 | 华中科技大学附属中学（ (略) ）教学楼部分外墙面开裂、脱落，教室复合地板泡水损坏，瓷砖空鼓，为了给师生提供一个安全、舒适的学习、生活环境，亟需对教学楼进行整体修缮。拟对外墙整体防水保温，室内地面、天棚、墙面、门窗等进行改造。具体以本项目工程量清单及初步设计图为准。计划工期：40天；质保期：整体2年，其中屋面防水质保期5年。质量标准：国家验收规范合格标准。 | 220 | 2024年12月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华中科技大学采购与招标中心
2024年10月16日
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