电子束蒸发镀膜机招标预告
发送至邮箱
电子束蒸发镀膜机招标预告
| 电子束蒸发镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发镀膜机 |
| 预算金额： | 160.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束蒸发镀膜机，用于半导体工艺中各种金属膜，反射膜的制备，要求系统全自动，稳定可靠，4英寸圆片上成膜不均匀性≤±3%，重复性高，炉间不均匀性≤±3%，工作真空度要求6E-6Torr，镀膜速率0~10埃/S可调，腔体可加热，可公转自转自由切换。蒸发200nm金膜片上温度不超过70度。载片量：2英寸圆片不少于10片；4英寸圆片不少于8片。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束蒸发镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发镀膜机 |
| 预算金额： | 160.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束蒸发镀膜机，用于半导体工艺中各种金属膜，反射膜的制备，要求系统全自动，稳定可靠，4英寸圆片上成膜不均匀性≤±3%，重复性高，炉间不均匀性≤±3%，工作真空度要求6E-6Torr，镀膜速率0~10埃/S可调，腔体可加热，可公转自转自由切换。蒸发200nm金膜片上温度不超过70度。载片量：2英寸圆片不少于10片；4英寸圆片不少于8片。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
