2024年11月政府采购意向-12英寸硅锗外延系统详细情况万元人民币
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2024年11月政府采购意向-12英寸硅锗外延系统详细情况万元人民币
| 12英寸硅锗外延系统 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 12英寸硅锗外延系统 |
| 预算金额： | 5400.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购一台硅锗外延生长系统。该外延系统需能够在12英寸的硅衬底上进行硅、硅锗、锗及其掺杂结构进行高质量地生长，包括在 (略) 域实现材料的外延生长；可在纳米尺度上对材料进行精确沉积，精确控制沉积的材料种类、厚度和晶体质量，实现低缺陷密度的外延生长；同时要保障低玷污水平，满足高端半导体器件的制造需求。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 12英寸硅锗外延系统 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 12英寸硅锗外延系统 |
| 预算金额： | 5400.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购一台硅锗外延生长系统。该外延系统需能够在12英寸的硅衬底上进行硅、硅锗、锗及其掺杂结构进行高质量地生长，包括在 (略) 域实现材料的外延生长；可在纳米尺度上对材料进行精确沉积，精确控制沉积的材料种类、厚度和晶体质量，实现低缺陷密度的外延生长；同时要保障低玷污水平，满足高端半导体器件的制造需求。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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