2024年10至12月政府意向-金属刻蚀机详细情况640.000000万元(人民币)
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2024年10至12月政府意向-金属刻蚀机详细情况640.000000万元(人民币)
| 金属刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 金属刻蚀机 |
| 预算金额： | 640.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 设备技术要求: 1、刻蚀圆片尺寸:8 吋及向下兼容 2、电源功率 ≥1000W 3、分子泵抽速:≥1600L/s 4、干泵抽速:≥500m3hh 5、具备 OES 终点检测功能 6、腔室可控温，控温精度士0.5℃7、工艺气体包括F 基、Cl基气体 8、腔室本底真空:<0.5 mT |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 金属刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 金属刻蚀机 |
| 预算金额： | 640.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 设备技术要求: 1、刻蚀圆片尺寸:8 吋及向下兼容 2、电源功率 ≥1000W 3、分子泵抽速:≥1600L/s 4、干泵抽速:≥500m3hh 5、具备 OES 终点检测功能 6、腔室可控温，控温精度士0.5℃7、工艺气体包括F 基、Cl基气体 8、腔室本底真空:<0.5 mT |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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