2024年12月政府采购意向-激光直写光刻机详细情况万元人民币
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2024年12月政府采购意向-激光直写光刻机详细情况万元人民币
| 激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 重庆大学2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 重庆大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 280.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 拟建设系统是在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型，从而以更灵活的方式实现微纳结构或器件加工的光刻步骤。可直接对衬底上的光刻胶进行直写，对光敏材料进行图案化加工，从而实现有机光刻胶图案化集成；可制作掩模板；可进行三维灰阶光刻功能等。 需要包含如下主系统与配件： 激光直写光刻主体（包括直写系统、光源、样品台控制系统） 1套 显微镜系统与对准、对焦及校准系统 1套 减震系统 1套 预装控制软件的专用计算机（包含显示器、电源线、数据连接线） 1套 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 重庆大学2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 重庆大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 280.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 拟建设系统是在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型，从而以更灵活的方式实现微纳结构或器件加工的光刻步骤。可直接对衬底上的光刻胶进行直写，对光敏材料进行图案化加工，从而实现有机光刻胶图案化集成；可制作掩模板；可进行三维灰阶光刻功能等。 需要包含如下主系统与配件： 激光直写光刻主体（包括直写系统、光源、样品台控制系统） 1套 显微镜系统与对准、对焦及校准系统 1套 减震系统 1套 预装控制软件的专用计算机（包含显示器、电源线、数据连接线） 1套 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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