原子层沉积系统招标预告
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原子层沉积系统招标预告
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 601.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 原子层沉积系统（ALD）可沉积高度致密的、无针孔、无颗粒、纳米尺度的氧化物、氮化物和金属等超薄膜，有出色的均匀性、对3D结构有非常好的覆盖一致性。在这些超薄薄膜材料沉积过程中，ALD可以确保材料的厚度、组成和均匀性。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 601.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 原子层沉积系统（ALD）可沉积高度致密的、无针孔、无颗粒、纳米尺度的氧化物、氮化物和金属等超薄膜，有出色的均匀性、对3D结构有非常好的覆盖一致性。在这些超薄薄膜材料沉积过程中，ALD可以确保材料的厚度、组成和均匀性。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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