A(略) 其他真空获得及应用设备

采购QLED一体化加工测试系统1套，主要组成及部分指标如下：1）加工单元：可安装至少8个尺寸 40mm*40mm 的基片托盘，可真空状态下更换1次mask；基片盘可旋转，旋转速度 0-30 转/分可调.(每个 mask 图形配备独立挡板)；坩埚容量 1cc 以上金属舟源4组以上，坩埚容量 5cc 以上中温束源6组(含水冷)；至少4个进口蒸发电源,用于蒸发金属和有机，蒸发电源可以通过软件控制，具有二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪 PID(闭环控制)，自动调节蒸发速率；采用石英晶振膜厚仪监测精度 0.001A；进口石英晶振探头5个， 6MHZ，采用快速卡扣式结构、UBQD 密封结构。腔体.SUS304 ，内部尺寸约为600*600*650mm;整体漏率优于5x10-10 Pa.m3/S，保压 12 小时，压强小于 10Pa；极限真空优于:3*10-5Pa；主泵抽速不低于 1500 L/S,干泵抽速不低于 25 立方米每小时; 可完成自动化蒸镀功能(可自动化完成蒸镀速率调节，膜厚控制，开关挡板，下一膜层切换等)。2）惰性气氛单元：双工位手套箱3台套（1.2+1.8米三工位（连接蒸镀机），1.8米双工位，1.8米双工位）通过过渡舱分隔互联，同时连接加工制备及测试模块；20℃ 恒温，一个标准大气压，99.999%的惰性气源，水氧指标小于0.01ppm；五氧化二磷传感器水分析仪，二氧化锆传感器氧分析仪，两套加大有机溶剂吸附器，一套超净过滤除尘系统。3）测试单元：可测量相对光谱功率分布，色品坐标，主波长，峰值波长，光谱纯度，色温，显色指数，半宽度，光通量（配积分球），辐射功率，红色比，色容差等参数，满足国际照明委员会CIE对光和颜色测量要求，可快速测量亮度/亮度均匀性、色度/色度均匀性、色品坐标、相关色温、光谱等；波长范围不少于380-780nm；杂散光不大于5E-05（可见光范围）；涂层反射率：ρ（λ）=94%-97%（380nm~500nm），ρ（λ）=95%-98%（500nm~1500nm）等

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A(略) 其他真空获得及应用设备

采购QLED一体化加工测试系统1套，主要组成及部分指标如下：1）加工单元：可安装至少8个尺寸 40mm*40mm 的基片托盘，可真空状态下更换1次mask；基片盘可旋转，旋转速度 0-30 转/分可调.(每个 mask 图形配备独立挡板)；坩埚容量 1cc 以上金属舟源4组以上，坩埚容量 5cc 以上中温束源6组(含水冷)；至少4个进口蒸发电源,用于蒸发金属和有机，蒸发电源可以通过软件控制，具有二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪 PID(闭环控制)，自动调节蒸发速率；采用石英晶振膜厚仪监测精度 0.001A；进口石英晶振探头5个， 6MHZ，采用快速卡扣式结构、UBQD 密封结构。腔体.SUS304 ，内部尺寸约为600*600*650mm;整体漏率优于5x10-10 Pa.m3/S，保压 12 小时，压强小于 10Pa；极限真空优于:3*10-5Pa；主泵抽速不低于 1500 L/S,干泵抽速不低于 25 立方米每小时; 可完成自动化蒸镀功能(可自动化完成蒸镀速率调节，膜厚控制，开关挡板，下一膜层切换等)。2）惰性气氛单元：双工位手套箱3台套（1.2+1.8米三工位（连接蒸镀机），1.8米双工位，1.8米双工位）通过过渡舱分隔互联，同时连接加工制备及测试模块；20℃ 恒温，一个标准大气压，99.999%的惰性气源，水氧指标小于0.01ppm；五氧化二磷传感器水分析仪，二氧化锆传感器氧分析仪，两套加大有机溶剂吸附器，一套超净过滤除尘系统。3）测试单元：可测量相对光谱功率分布，色品坐标，主波长，峰值波长，光谱纯度，色温，显色指数，半宽度，光通量（配积分球），辐射功率，红色比，色容差等参数，满足国际照明委员会CIE对光和颜色测量要求，可快速测量亮度/亮度均匀性、色度/色度均匀性、色品坐标、相关色温、光谱等；波长范围不少于380-780nm；杂散光不大于5E-05（可见光范围）；涂层反射率：ρ（λ）=94%-97%（380nm~500nm），ρ（λ）=95%-98%（500nm~1500nm）等

(略)