2024年10至12月政府意向-电子束曝光机详细情况1400.000000万元(人民
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2024年10至12月政府意向-电子束曝光机详细情况1400.000000万元(人民
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 1400.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 电子束曝光机的分辨率和套刻精度直接决定了所制造 (略) 的集成度，光源的波长是影响光刻精度的主要原因，由于光源波长的限制，X射线曝光可达到50nm左右的精度，深紫外光源的曝光精度在100nm左右，而电子的波长较小，因而电子束曝光的加工精度可以达到10nm以内。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 1400.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 电子束曝光机的分辨率和套刻精度直接决定了所制造 (略) 的集成度，光源的波长是影响光刻精度的主要原因，由于光源波长的限制，X射线曝光可达到50nm左右的精度，深紫外光源的曝光精度在100nm左右，而电子的波长较小，因而电子束曝光的加工精度可以达到10nm以内。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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