2024年10月至2024年12月政府采购意向-文献数据库服务采购项目

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2024年10月至2024年12月政府采购意向-文献数据库服务采购项目

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将本单位2024年10月至2024年12月采购意向公开如下:

序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注
1 松山湖材料实验室文献数据库服务采购项目
标的名称:文献数据库服务采购项目
标的数量:1
主要功能或目标:主要功能:文献数据库服务,其中包含:Nature系列、SpringerMaterials、SpringerLink部分专辑、Science Direct、Cell系列、Web of Science、APS等。目标服务松山湖材料实验室实验室科研人员,加强文献保障能力。
需满足的要求:需具有出版物进口经营许可证。所采购文献数据库需能够正常访问,平台检索性能强大,资源品质齐全、及时更新,全文库数据库需可通过浏览器访问及保存下载,IP范围内无并发数限制,提供符合COUNTER 5标准的使用统计,提供免费培训、问题解决与维护、专人售后服务与技术支持等。
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品、支持监狱企业发展等政策 3,* 2024年11月
2 松山湖材料实验室半自动有机清洗设备采购项目
标的名称:半自动有机清洗设备采购项目
标的数量:1
主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中2、4、6、8寸晶圆的有机清洗,清洗晶圆表面和结构内部的亚微米杂质颗粒、刻蚀副产物和光刻胶残留等。
需满足的要求:"需满足的工艺技术指标: 1、样品尺寸:至少兼容2、4、6、8寸晶圆; 2、支持减薄片、翘曲片和镂空片的有机清洗工艺; 3、具备药液加热功能; 4、具有背洗功能; 5、配备有机药液柜, (略) 数 (略) ;"
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品、支持监狱企业发展等政策 4,* 2024年12月
3 松山湖材料实验室化学机械抛光设备采购项目
标的名称:化学机械抛光设备
标的数量:1
主要功能或目标:主要为了满足半导体制程中垂直互联器件加工、3D工艺集成领域对介质、金属及半导体等材料的高精度材料抛光的需求,以便在先进垂直互联器件工艺领域内进行相关科学研究。
需满足的要求:1)兼容4、6、8寸晶圆的抛光作业; 2)抛 (略) :8寸抛光头≥4 Zone ;6寸抛光头≥3 Zone;4寸抛光头≥2 Zone; 3) (略) 理后表面粗糙度Ra≤0.4nm(Si02薄膜); 4)晶圆内部不均匀度≤4%(8英寸,去边5mm); 5)多晶圆间不均匀度≤4%(8英寸,去边5mm); 6)至少配有光学、摩擦学、电涡流三种终点检测方式。
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品、支持监狱企业发展等政策 5,* 2024年12月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

松山湖材料实验室

2024年10月30日

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将本单位2024年10月至2024年12月采购意向公开如下:

序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注
1 松山湖材料实验室文献数据库服务采购项目
标的名称:文献数据库服务采购项目
标的数量:1
主要功能或目标:主要功能:文献数据库服务,其中包含:Nature系列、SpringerMaterials、SpringerLink部分专辑、Science Direct、Cell系列、Web of Science、APS等。目标服务松山湖材料实验室实验室科研人员,加强文献保障能力。
需满足的要求:需具有出版物进口经营许可证。所采购文献数据库需能够正常访问,平台检索性能强大,资源品质齐全、及时更新,全文库数据库需可通过浏览器访问及保存下载,IP范围内无并发数限制,提供符合COUNTER 5标准的使用统计,提供免费培训、问题解决与维护、专人售后服务与技术支持等。
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品、支持监狱企业发展等政策 3,* 2024年11月
2 松山湖材料实验室半自动有机清洗设备采购项目
标的名称:半自动有机清洗设备采购项目
标的数量:1
主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中2、4、6、8寸晶圆的有机清洗,清洗晶圆表面和结构内部的亚微米杂质颗粒、刻蚀副产物和光刻胶残留等。
需满足的要求:"需满足的工艺技术指标: 1、样品尺寸:至少兼容2、4、6、8寸晶圆; 2、支持减薄片、翘曲片和镂空片的有机清洗工艺; 3、具备药液加热功能; 4、具有背洗功能; 5、配备有机药液柜, (略) 数 (略) ;"
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品、支持监狱企业发展等政策 4,* 2024年12月
3 松山湖材料实验室化学机械抛光设备采购项目
标的名称:化学机械抛光设备
标的数量:1
主要功能或目标:主要为了满足半导体制程中垂直互联器件加工、3D工艺集成领域对介质、金属及半导体等材料的高精度材料抛光的需求,以便在先进垂直互联器件工艺领域内进行相关科学研究。
需满足的要求:1)兼容4、6、8寸晶圆的抛光作业; 2)抛 (略) :8寸抛光头≥4 Zone ;6寸抛光头≥3 Zone;4寸抛光头≥2 Zone; 3) (略) 理后表面粗糙度Ra≤0.4nm(Si02薄膜); 4)晶圆内部不均匀度≤4%(8英寸,去边5mm); 5)多晶圆间不均匀度≤4%(8英寸,去边5mm); 6)至少配有光学、摩擦学、电涡流三种终点检测方式。
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品、支持监狱企业发展等政策 5,* 2024年12月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

松山湖材料实验室

2024年10月30日

    
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