2024年11月至2024年12月政府采购意向-垂直式电化学沉积设备
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2024年11月至2024年12月政府采购意向-垂直式电化学沉积设备
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年11月至2024年12月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 垂直式电化学沉积设备 | 标的名称：垂直式电化学沉积设备 标的数量：1 主要功能或目标：通过电化学原理，在晶圆表面形成一层或多层金属薄膜，最终满足半导体器件的电气连接、信号传输和散热等功能，实现金属化沉积工艺 需满足的要求：设备构成： 1）垂直紧凑型电镀工艺单元：每个电镀工艺单元容积不大于8L 2）转载机构将晶圆由水平翻转后，自动实现与晶圆加持器的对接，完成上下料及密封带的接触 设备性能需求： 1)应具备晶圆夹持系统：兼容150mm&200mm晶圆且可同时作业 2)工艺槽满足：配备在线式加热器，不使用外部加热器，控制精度应保证在±1℃内； 工艺要求： 1）导电密封规格满足：EE2.5mm & EBR:1.4+/0 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品等政策情况 | 8,* | 2024年12月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2024年11月01日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年11月至2024年12月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 垂直式电化学沉积设备 | 标的名称：垂直式电化学沉积设备 标的数量：1 主要功能或目标：通过电化学原理，在晶圆表面形成一层或多层金属薄膜，最终满足半导体器件的电气连接、信号传输和散热等功能，实现金属化沉积工艺 需满足的要求：设备构成： 1）垂直紧凑型电镀工艺单元：每个电镀工艺单元容积不大于8L 2）转载机构将晶圆由水平翻转后，自动实现与晶圆加持器的对接，完成上下料及密封带的接触 设备性能需求： 1)应具备晶圆夹持系统：兼容150mm&200mm晶圆且可同时作业 2)工艺槽满足：配备在线式加热器，不使用外部加热器，控制精度应保证在±1℃内； 工艺要求： 1）导电密封规格满足：EE2.5mm & EBR:1.4+/0 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、 (略) 农副产品等政策情况 | 8,* | 2024年12月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2024年11月01日
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