2024年11月政府采购意向-MEMS加工平台详细情况万元人民币
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2024年11月政府采购意向-MEMS加工平台详细情况万元人民币
| (略) | |
| 项目所在采购意向： | 西安交通大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安交通大学 |
| 采购项目名称： | (略) |
| 预算金额： | 470.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A# 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 本项目 (略) 1套，主要功能包括光刻胶固化、曝光、显影，金属材料蒸镀，薄膜材料原子层沉积等，可实现从材料到器件的MEMS加工工艺流程，可用于气敏传感器等MEMS器件的加工制备。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| (略) | |
| 项目所在采购意向： | 西安交通大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安交通大学 |
| 采购项目名称： | (略) |
| 预算金额： | 470.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A# 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 本项目 (略) 1套，主要功能包括光刻胶固化、曝光、显影，金属材料蒸镀，薄膜材料原子层沉积等，可实现从材料到器件的MEMS加工工艺流程，可用于气敏传感器等MEMS器件的加工制备。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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