2024年11至12月政府意向-激光直写光刻机采购详细情况万元人民币招标预告
发送至邮箱
2024年11至12月政府意向-激光直写光刻机采购详细情况万元人民币招标预告
| 西南交通大学激光直写光刻机采购 | |
| 项目所在采购意向： | 西南交通大学2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西南交通大学 |
| 采购项目名称： | 西南交通大学激光直写光刻机采购 |
| 预算金额： | 105.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采购项目名称：西南交通大学激光直写光刻机采购。采购数量：1套。主要功能：能够利用多种近紫外光刻胶制备任意微纳功能结构，例如掩模版、 (略) 结构、芯片功能微结构、MEMS/NEMS等。 主要技术指标：可保证不小于100 mm × 100mm范围内准确曝光，最小基片尺寸5mm × 5mm；可光刻最小结构尺寸≤0.5um；具有对准套刻功能；对准精度接近或优于±0.5um；书写速度不低于100mm2/*@*um和200mm2/*@* um； 其他要求：具有6英寸真空吸附工作台和X、Y、Z、J多轴精密运动系统。位置分辨率≤10 nm；X-Y移动范围不低于100mmX 100mm；具备自动对焦能力，Z轴调整精度≤10nm；支持256阶的3D灰度光刻；支持GDSII、BMP、STL等多种数据格式；设备带有整体大理石基座，且自带高精密气浮隔振系统。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 西南交通大学激光直写光刻机采购 | |
| 项目所在采购意向： | 西南交通大学2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西南交通大学 |
| 采购项目名称： | 西南交通大学激光直写光刻机采购 |
| 预算金额： | 105.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采购项目名称：西南交通大学激光直写光刻机采购。采购数量：1套。主要功能：能够利用多种近紫外光刻胶制备任意微纳功能结构，例如掩模版、 (略) 结构、芯片功能微结构、MEMS/NEMS等。 主要技术指标：可保证不小于100 mm × 100mm范围内准确曝光，最小基片尺寸5mm × 5mm；可光刻最小结构尺寸≤0.5um；具有对准套刻功能；对准精度接近或优于±0.5um；书写速度不低于100mm2/*@*um和200mm2/*@* um； 其他要求：具有6英寸真空吸附工作台和X、Y、Z、J多轴精密运动系统。位置分辨率≤10 nm；X-Y移动范围不低于100mmX 100mm；具备自动对焦能力，Z轴调整精度≤10nm；支持256阶的3D灰度光刻；支持GDSII、BMP、STL等多种数据格式；设备带有整体大理石基座，且自带高精密气浮隔振系统。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
四川
四川
四川
四川
四川
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
