A*核技术应用设备

本采购项目为设备在线清洗实施提供改变真空环境所需要的在线洁净供气系统1套，主要功能是将用于超导恒温器表面性能恢复的高纯气体（Ar\Ne\He\N2\O*%，6N）进行高精度混合并输入到超导恒温器内。主要包括供气总站、气 (略) 、气体分配终端以及电气控制部分构成。 1、供气总站：将多种气体进行预混合，含6N气源、流量控制、混气系统、真空置换系统。系统漏率≤1E-11mbar·L/s,极限真空度≤1-6Pa,混气管体积≥15L器件的选用 (略) 理超高纯、超高洁净标准执行。 2、气 (略) ：将混合后的输送至17个超导恒温器端口，采用高纯高洁净工艺，系统漏率≤1E-11mbar·L/s； 3、气体分配终端：为超导恒温器进行气体的分配。通入超导腔中的气体满足6N标准，以水为指标其杂质浓度≤1ppm。 4、控制及电气：全自动控制，具备报警功能，可实现气体的自动混气以及真空安全、欠压安全等各项报警和连锁；可以在设备本地通过PLC实现系统的操作，也可以通过EPICS系统通过加速器控制总体采用CSS系统远程操作；隧道内的设备和电子元器件需采取辐射防护和电磁兼容设计。 5、洁净度控制：洁净真空安全是超导加速器的核心，须按照半导体生产设备以及半导体制造的洁净标准执行，包括气器件的选型、加工、焊接、 (略) 理、集成以及现场安装均需开展全过程全周期的设计。需要对厂家的方案、选型、工艺流程实施评估。 交货周期根据工程建设进度同步进行安装。 服务方面，质保期不得小于5年,其他相关要求按照招标文件执行。

A*核技术应用设备

本采购项目为设备在线清洗实施提供改变真空环境所需要的在线洁净供气系统1套，主要功能是将用于超导恒温器表面性能恢复的高纯气体（Ar\Ne\He\N2\O*%，6N）进行高精度混合并输入到超导恒温器内。主要包括供气总站、气 (略) 、气体分配终端以及电气控制部分构成。 1、供气总站：将多种气体进行预混合，含6N气源、流量控制、混气系统、真空置换系统。系统漏率≤1E-11mbar·L/s,极限真空度≤1-6Pa,混气管体积≥15L器件的选用 (略) 理超高纯、超高洁净标准执行。 2、气 (略) ：将混合后的输送至17个超导恒温器端口，采用高纯高洁净工艺，系统漏率≤1E-11mbar·L/s； 3、气体分配终端：为超导恒温器进行气体的分配。通入超导腔中的气体满足6N标准，以水为指标其杂质浓度≤1ppm。 4、控制及电气：全自动控制，具备报警功能，可实现气体的自动混气以及真空安全、欠压安全等各项报警和连锁；可以在设备本地通过PLC实现系统的操作，也可以通过EPICS系统通过加速器控制总体采用CSS系统远程操作；隧道内的设备和电子元器件需采取辐射防护和电磁兼容设计。 5、洁净度控制：洁净真空安全是超导加速器的核心，须按照半导体生产设备以及半导体制造的洁净标准执行，包括气器件的选型、加工、焊接、 (略) 理、集成以及现场安装均需开展全过程全周期的设计。需要对厂家的方案、选型、工艺流程实施评估。 交货周期根据工程建设进度同步进行安装。 服务方面，质保期不得小于5年,其他相关要求按照招标文件执行。