2024年12月政府采购意向-原子层沉积设备详细情况万元人民币
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2024年12月政府采购意向-原子层沉积设备详细情况万元人民币
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物*设备*机械设备*真空获得及应用设备*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 基片尺寸和装载量：同时可容纳6片300*400 mm。极限真空度：≤5.0×10-1 Pa，腔体漏率：≤5.0×10-7 Pa·m3/s。基片表面制备30 nm的SnO2均匀性：≤3%。沉积材料种类：Al2O3, SnO2、HfO2等各类金属氧化物和氮化物薄膜等。前驱体源数量：6路。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | 原采购意向公开链接：http://**-9526-42a8-b4e3-a4878d58ca3f |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物*设备*机械设备*真空获得及应用设备*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 基片尺寸和装载量：同时可容纳6片300*400 mm。极限真空度：≤5.0×10-1 Pa，腔体漏率：≤5.0×10-7 Pa·m3/s。基片表面制备30 nm的SnO2均匀性：≤3%。沉积材料种类：Al2O3, SnO2、HfO2等各类金属氧化物和氮化物薄膜等。前驱体源数量：6路。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | 原采购意向公开链接：http://**-9526-42a8-b4e3-a4878d58ca3f |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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