A*其他试验仪器及装置

用途：现有高真空Cluster热蒸发设备无法实现对超2000℃的高质量单晶钼金属薄膜的大面积可控可重复制备，已不能满足当前科研需要，故需对其中的高温加热装置进行升级改造。具体地，新增超高温加热装置1套。 技术要求（详见采购文件）： 1.上加热器： 1.1加热组件及材料的最高温可加热达1600℃，采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造； 1.2 加热器 (略) 1组,用于对加热器的降温冷却； 2.腔体上盖板 (略) 1组,供腔体降温使用； 3.腔体窗口隔热板 1组，避免窗口因制程温度过高而破裂； 4.下加热器： ★4.1加热组件及材料最高温可加热达2000℃，采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造； 4.2 加热器样品载台可旋转； 4.3 加热器 (略) 1组, 供加热器降温冷却； 5.腔体增 (略) 1组, 避免材料制备中腔体各部件温度过高造成变形； 6.电源变压器 1组,供上、下加热器加热使用； 7.电力供应配套：配合新制加热器的更新配套； 8.传送阀门高温保护装置1组,避免高温造成传送阀门过温损坏而无法开关； 9.高温加热器耗材配件3组； 10.修 (略) 水排模块 1组； 11.软件：控制点位、操作程序配合更新撰写,以符合修改后的系统功能使用； ▲12.新增的超高温加热装置须与原高真空Cluter热蒸发系统兼容，并满足以下指标: A.真空度测试 : 腔体本底压力可抽至< 8 x 10-6 torr B.加热器测试 : 下加热器可加热至最高温 2000℃ C.镀膜测试 : 可进行单晶钼金属薄膜沉积，沉积面积不小于20 mm×20 mm 交付时间要求：2025年4月15日 交付地点要求： (略) (略) 中山大学南校园557栋 售后服务要求： 售后服务：供货厂家在中国至少一家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师和应用工程师，能提供及时有效的售后服务。 预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的高温加热装置进行预安装 (主要包括升温及保温测试等)，同时提供装置的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。需要在现场解决问题的，在5个工作日内到达仪器

A*其他试验仪器及装置

用途：现有高真空Cluster热蒸发设备无法实现对超2000℃的高质量单晶钼金属薄膜的大面积可控可重复制备，已不能满足当前科研需要，故需对其中的高温加热装置进行升级改造。具体地，新增超高温加热装置1套。 技术要求（详见采购文件）： 1.上加热器： 1.1加热组件及材料的最高温可加热达1600℃，采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造； 1.2 加热器 (略) 1组,用于对加热器的降温冷却； 2.腔体上盖板 (略) 1组,供腔体降温使用； 3.腔体窗口隔热板 1组，避免窗口因制程温度过高而破裂； 4.下加热器： ★4.1加热组件及材料最高温可加热达2000℃，采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造； 4.2 加热器样品载台可旋转； 4.3 加热器 (略) 1组, 供加热器降温冷却； 5.腔体增 (略) 1组, 避免材料制备中腔体各部件温度过高造成变形； 6.电源变压器 1组,供上、下加热器加热使用； 7.电力供应配套：配合新制加热器的更新配套； 8.传送阀门高温保护装置1组,避免高温造成传送阀门过温损坏而无法开关； 9.高温加热器耗材配件3组； 10.修 (略) 水排模块 1组； 11.软件：控制点位、操作程序配合更新撰写,以符合修改后的系统功能使用； ▲12.新增的超高温加热装置须与原高真空Cluter热蒸发系统兼容，并满足以下指标: A.真空度测试 : 腔体本底压力可抽至< 8 x 10-6 torr B.加热器测试 : 下加热器可加热至最高温 2000℃ C.镀膜测试 : 可进行单晶钼金属薄膜沉积，沉积面积不小于20 mm×20 mm 交付时间要求：2025年4月15日 交付地点要求： (略) (略) 中山大学南校园557栋 售后服务要求： 售后服务：供货厂家在中国至少一家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师和应用工程师，能提供及时有效的售后服务。 预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的高温加热装置进行预安装 (主要包括升温及保温测试等)，同时提供装置的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。需要在现场解决问题的，在5个工作日内到达仪器