A*电气设备零部件

设备名称：激光刻蚀加工系统 数量：1套 用途：设备包含飞秒激光器和精密位移台，可以实现微米精度的图案刻蚀，直接刻蚀出图案，无需掩模，无接触污染，可以高效实现各种微结构的可控制备，解决项目攻关的关键技术问题。 技术要求（仅列主要，详见采购文件）： 主机参数： 1、★刻蚀最小线宽≤1.4 μm 2、飞秒激光器 (1) 波长范围：1030nm±10nm (2) 重复频率：50kHz~1MHz (3) ▲脉冲宽度：<600fs (4) 单脉冲能量：100μJ (5) ▲输出功率：20W (6) 功率稳定性：<3% (7) 光斑尺寸：3mm (8) 光束质量: TEM 00、M2≤ 1.2 3、 (略) (1) (略) 行程范围：XY≥110mm，Z轴≥35mm (2) (略) 移动速度：≥100 mm/s (3) ★ (略) 重复定位精度：≤150nm 4、 (略) (1) 反射镜：1030nm low GDD 45°高反镜，镜架若干 (2) 1/4玻片，扩束镜，能量控制器5%-95% (3) ▲物镜：20倍，50倍 5、支持激光器出光控制、XYZ轴控、机器视觉调控成像、能量衰减调节、偏振器控制等， (略) 径函数导入、支持三轴联动 支持2D、3D文件导入，支持 BMP、DXF、STL 文件格式 交付时间要求：2025年7月15日 交付地点要求： (略) (略) 中山大学南校园557栋 免费保修时间： 2年 保修范围： 整机 售后服务要求： 24小时响应，72小时提供解决方案 培训要求： 2次现场培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试， (略) 理、基本仪器维护，故障排除等。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。

A*电气设备零部件

设备名称：激光刻蚀加工系统 数量：1套 用途：设备包含飞秒激光器和精密位移台，可以实现微米精度的图案刻蚀，直接刻蚀出图案，无需掩模，无接触污染，可以高效实现各种微结构的可控制备，解决项目攻关的关键技术问题。 技术要求（仅列主要，详见采购文件）： 主机参数： 1、★刻蚀最小线宽≤1.4 μm 2、飞秒激光器 (1) 波长范围：1030nm±10nm (2) 重复频率：50kHz~1MHz (3) ▲脉冲宽度：<600fs (4) 单脉冲能量：100μJ (5) ▲输出功率：20W (6) 功率稳定性：<3% (7) 光斑尺寸：3mm (8) 光束质量: TEM 00、M2≤ 1.2 3、 (略) (1) (略) 行程范围：XY≥110mm，Z轴≥35mm (2) (略) 移动速度：≥100 mm/s (3) ★ (略) 重复定位精度：≤150nm 4、 (略) (1) 反射镜：1030nm low GDD 45°高反镜，镜架若干 (2) 1/4玻片，扩束镜，能量控制器5%-95% (3) ▲物镜：20倍，50倍 5、支持激光器出光控制、XYZ轴控、机器视觉调控成像、能量衰减调节、偏振器控制等， (略) 径函数导入、支持三轴联动 支持2D、3D文件导入，支持 BMP、DXF、STL 文件格式 交付时间要求：2025年7月15日 交付地点要求： (略) (略) 中山大学南校园557栋 免费保修时间： 2年 保修范围： 整机 售后服务要求： 24小时响应，72小时提供解决方案 培训要求： 2次现场培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试， (略) 理、基本仪器维护，故障排除等。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。