2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院手动式曝光机采购项目详细情况万元人民币
2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院手动式曝光机采购项目详细情况万元人民币
中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目 | |
项目所在采购意向: | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
采购单位: | 中山大学 |
采购项目名称: | 中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目 |
预算金额: | 216.*万元(人民币) |
采购品目: | A*非金属材料试验机 |
采购需求概况 : | 手动式曝光机(1台):光刻有效范围:8英寸方形,采用紫外汞灯光源,紫外光波长涵盖范围:350nm-450nm;曝光光强: 18-20mW/cm2 @365nm (Sensor 365nm);25-30mW/cm2 @405nm (Sensor 405nm);光刻最佳分辨率≤0.8um;8英寸光强均匀性≤±3%;具备全自动和手动正面和背面对准功能,正面对准精度:≤ ±1.0um;背面对准精度:≤ ±2.0um 具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,6个月内交货到采购人指定地点,具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | 2025-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目 | |
项目所在采购意向: | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
采购单位: | 中山大学 |
采购项目名称: | 中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目 |
预算金额: | 216.*万元(人民币) |
采购品目: | A*非金属材料试验机 |
采购需求概况 : | 手动式曝光机(1台):光刻有效范围:8英寸方形,采用紫外汞灯光源,紫外光波长涵盖范围:350nm-450nm;曝光光强: 18-20mW/cm2 @365nm (Sensor 365nm);25-30mW/cm2 @405nm (Sensor 405nm);光刻最佳分辨率≤0.8um;8英寸光强均匀性≤±3%;具备全自动和手动正面和背面对准功能,正面对准精度:≤ ±1.0um;背面对准精度:≤ ±2.0um 具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,6个月内交货到采购人指定地点,具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | 2025-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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