2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院手动式曝光机采购项目详细情况万元人民币

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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院手动式曝光机采购项目详细情况万元人民币

中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目
项目所在采购意向: 中山大学2025年1月政府采购意向
采购单位: 中山大学
采购项目名称: 中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目
预算金额: 216.*万元(人民币)
采购品目:
A*非金属材料试验机
采购需求概况 :
手动式曝光机(1台):光刻有效范围:8英寸方形,采用紫外汞灯光源,紫外光波长涵盖范围:350nm-450nm;曝光光强: 18-20mW/cm2 @365nm (Sensor 365nm);25-30mW/cm2 @405nm (Sensor 405nm);光刻最佳分辨率≤0.8um;8英寸光强均匀性≤±3%;具备全自动和手动正面和背面对准功能,正面对准精度:≤ ±1.0um;背面对准精度:≤ ±2.0um 具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,6个月内交货到采购人指定地点,具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间: 2025-01
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,中山
中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目
项目所在采购意向: 中山大学2025年1月政府采购意向
采购单位: 中山大学
采购项目名称: 中山大学电子与 (略) 手动式曝光机采购项目
预算金额: 216.*万元(人民币)
采购品目:
A*非金属材料试验机
采购需求概况 :
手动式曝光机(1台):光刻有效范围:8英寸方形,采用紫外汞灯光源,紫外光波长涵盖范围:350nm-450nm;曝光光强: 18-20mW/cm2 @365nm (Sensor 365nm);25-30mW/cm2 @405nm (Sensor 405nm);光刻最佳分辨率≤0.8um;8英寸光强均匀性≤±3%;具备全自动和手动正面和背面对准功能,正面对准精度:≤ ±1.0um;背面对准精度:≤ ±2.0um 具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,6个月内交货到采购人指定地点,具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间: 2025-01
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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