2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积采购项目详细情况万元人民币
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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积采购项目详细情况万元人民币
| 中山大学电子与 (略) 等离子体增强化学气相沉积采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与 (略) 等离子体增强化学气相沉积采购项目 |
| 预算金额： | 260.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*非金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 等离子体增强化学气相沉积（1台）：最大样品尺寸8英寸，向下兼容小尺寸样品；采用CCP-CVD(电容耦合)方式沉积SiO2、SiNx、SiON；8英寸样品范围内沉积SiO2的均匀性≤3%，沉积速率是1000~*?/min；8英寸样品范围内沉积SiN的均匀性≤3%，沉积速率是1000~*?/min 具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，6个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 中山大学电子与 (略) 等离子体增强化学气相沉积采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与 (略) 等离子体增强化学气相沉积采购项目 |
| 预算金额： | 260.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*非金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 等离子体增强化学气相沉积（1台）：最大样品尺寸8英寸，向下兼容小尺寸样品；采用CCP-CVD(电容耦合)方式沉积SiO2、SiNx、SiON；8英寸样品范围内沉积SiO2的均匀性≤3%，沉积速率是1000~*?/min；8英寸样品范围内沉积SiN的均匀性≤3%，沉积速率是1000~*?/min 具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，6个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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