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2025年1至3月政府采购意向-全自动堆叠系统详细情况万元人民币
| 全自动堆叠系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 全自动堆叠系统 |
| 预算金额： | 250.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：全自动堆叠系统 数量1套 用于碎片/2寸/4寸/6寸/8寸晶圆的涂胶/烘烤/临时键合工艺。 1.机台适用尺寸：碎片/2寸/4寸/6寸/8寸（定制配件可兼容20mm-209mm载片） 2.设备采用行星式模块化设计，配置四轴自动机械臂一个，用于将晶圆从cassette工位取放，并在各模块间传输，传输精度≤0.1mm； 3.设备配置两组cassette载入载出台，可自动mapping cassette中的晶圆，预留cassette扫描枪接口； 4.设备配置一个机械自动对中模块，以及一个光学对中及寻边模块，用于调整晶圆中心位置和平边/notch方向； 5.配置顶部FFU，设备内部达到100级无尘标准； 6.设备配置离子风扇，避免环境静电累积； 7.设备配置监控摄像头，可监控储存设备运转状况； 8.设备配置三色报警灯，根据设备状态显示不同灯色（一般红灯表示设备故障，黄灯表示设备待机，绿灯表示设备作业），并可根据设置发出报警声； 9.设备具备漏电保护，保护接地安全可靠； |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | 晶圆临时解键合系统 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 全自动堆叠系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 全自动堆叠系统 |
| 预算金额： | 250.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：全自动堆叠系统 数量1套 用于碎片/2寸/4寸/6寸/8寸晶圆的涂胶/烘烤/临时键合工艺。 1.机台适用尺寸：碎片/2寸/4寸/6寸/8寸（定制配件可兼容20mm-209mm载片） 2.设备采用行星式模块化设计，配置四轴自动机械臂一个，用于将晶圆从cassette工位取放，并在各模块间传输，传输精度≤0.1mm； 3.设备配置两组cassette载入载出台，可自动mapping cassette中的晶圆，预留cassette扫描枪接口； 4.设备配置一个机械自动对中模块，以及一个光学对中及寻边模块，用于调整晶圆中心位置和平边/notch方向； 5.配置顶部FFU，设备内部达到100级无尘标准； 6.设备配置离子风扇，避免环境静电累积； 7.设备配置监控摄像头，可监控储存设备运转状况； 8.设备配置三色报警灯，根据设备状态显示不同灯色（一般红灯表示设备故障，黄灯表示设备待机，绿灯表示设备作业），并可根据设置发出报警声； 9.设备具备漏电保护，保护接地安全可靠； |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | 晶圆临时解键合系统 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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