2025年3月政府采购意向-电感耦合等离子体刻蚀机详细情况万元人民币
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2025年3月政府采购意向-电感耦合等离子体刻蚀机详细情况万元人民币
| 电感耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2025年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 320.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购电感耦合等离子体刻蚀机一套，需实现特种化合物材料，如砷化镓系、铟化铟系、铌酸锂系列的高深宽比、高速率、高选择比和高刻蚀深度的刻蚀要求，并可在一定范围内调控刻蚀角度。主要参数需求如下：配置工 (略) ：BCl3、HBr、O2、Ar、SF6、Cl2、N2、CH4等；样品尺寸：8英寸，可向下兼容；基底温度：-20℃－+300℃；刻蚀材料：Si、砷化镓、磷化铟、铌酸锂等；刻蚀均匀性＜3%。质保期：验收合格后不少于12个月。 |
| 预计采购时间： | 2025-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电感耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2025年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 320.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购电感耦合等离子体刻蚀机一套，需实现特种化合物材料，如砷化镓系、铟化铟系、铌酸锂系列的高深宽比、高速率、高选择比和高刻蚀深度的刻蚀要求，并可在一定范围内调控刻蚀角度。主要参数需求如下：配置工 (略) ：BCl3、HBr、O2、Ar、SF6、Cl2、N2、CH4等；样品尺寸：8英寸，可向下兼容；基底温度：-20℃－+300℃；刻蚀材料：Si、砷化镓、磷化铟、铌酸锂等；刻蚀均匀性＜3%。质保期：验收合格后不少于12个月。 |
| 预计采购时间： | 2025-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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