A-货物(略)设备(略)仪器仪表(略)光学仪器(略)激光仪器

申请购置的大纵深红外探测芯片飞秒光刻机主要用于红外探测光子芯片的高精度制造与快速优化任务。飞秒光刻机提供高精度加工、像差校正和实时反馈功能。设备通过精准控制光刻工艺中的飞秒激光波长、功率和扫描速度等参数，设备能够优化芯片结构和特性，确保芯片在大规模集成和快速迭代中的一致性与稳定性。1.系统加工性能：可在康宁玻璃内部直写三维光波导，光波导损耗不高于0.05db/cm，直写纵深≥3mm；设备交付时提供上述指标样品一份。 2.一体化高重频飞秒激光器，脉冲宽度调谐范围：260fs–10ps，重复频率：单脉冲-1Mhz可调节，脉冲功率稳定性（RMS）：<0.5% over 100 h 3.像差校正模块，波长：1050±50nm，510±50nm各一个 4.功率调控模块，波长：1030nm，515nm，343nm各一个，调节范围：0.3%-99% 5.高精度大 (略) ，行程：XY≥100mm×100mm，Z1≥50mm，Z2≥20m，分辨率：XY≤2.5nm，Z1≤5nm，Z2≤25nm，重复定位精度：XY≤±100nm，Z1≤±100nm，Z2≤±150nm

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申请购置的大纵深红外探测芯片飞秒光刻机主要用于红外探测光子芯片的高精度制造与快速优化任务。飞秒光刻机提供高精度加工、像差校正和实时反馈功能。设备通过精准控制光刻工艺中的飞秒激光波长、功率和扫描速度等参数，设备能够优化芯片结构和特性，确保芯片在大规模集成和快速迭代中的一致性与稳定性。1.系统加工性能：可在康宁玻璃内部直写三维光波导，光波导损耗不高于0.05db/cm，直写纵深≥3mm；设备交付时提供上述指标样品一份。 2.一体化高重频飞秒激光器，脉冲宽度调谐范围：260fs–10ps，重复频率：单脉冲-1Mhz可调节，脉冲功率稳定性（RMS）：<0.5% over 100 h 3.像差校正模块，波长：1050±50nm，510±50nm各一个 4.功率调控模块，波长：1030nm，515nm，343nm各一个，调节范围：0.3%-99% 5.高精度大 (略) ，行程：XY≥100mm×100mm，Z1≥50mm，Z2≥20m，分辨率：XY≤2.5nm，Z1≤5nm，Z2≤25nm，重复定位精度：XY≤±100nm，Z1≤±100nm，Z2≤±150nm