真空干涉仪系统与SiC主基板招标预告
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真空干涉仪系统与SiC主基板招标预告
| 真空干涉仪系统与SiC主基板 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr(略)年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr(略) |
| 采购项目名称： | 真空干涉仪系统与SiC主基板 |
| 预算金额： | 400.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略) |
| 采购需求概况 ： | 研发一套12轴真空使用的三频激光干涉仪系统和SiC结构主基板，主基板载荷>150kg，具体精度见后续附件，干涉仪绝对定位精度优于0.2nm RMS. 采购标的需在2025年9月完成离线测试，离线测试后负责货运、安装、培训和售后等服务，并对操作人员进行操作安全培训，并负配合在线装调集成 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 真空干涉仪系统与SiC主基板 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr(略)年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr(略) |
| 采购项目名称： | 真空干涉仪系统与SiC主基板 |
| 预算金额： | 400.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略) |
| 采购需求概况 ： | 研发一套12轴真空使用的三频激光干涉仪系统和SiC结构主基板，主基板载荷>150kg，具体精度见后续附件，干涉仪绝对定位精度优于0.2nm RMS. 采购标的需在2025年9月完成离线测试，离线测试后负责货运、安装、培训和售后等服务，并对操作人员进行操作安全培训，并负配合在线装调集成 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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