2025年3至12月政府采购意向-12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备详细情况万元人民币
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2025年3至12月政府采购意向-12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备详细情况万元人民币
| 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2025年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 |
| 预算金额： | 3800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量为1台。采购标的主要功能：满足12英寸晶圆的槽式湿法刻蚀，槽数数量为6个刻蚀槽，6个清洗槽，用于刻蚀SiO SiN Polymer 等薄膜材料薄，深宽比100:1深孔，横向刻蚀上下层刻蚀差小于10%。采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2025年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 |
| 预算金额： | 3800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量为1台。采购标的主要功能：满足12英寸晶圆的槽式湿法刻蚀，槽数数量为6个刻蚀槽，6个清洗槽，用于刻蚀SiO SiN Polymer 等薄膜材料薄，深宽比100:1深孔，横向刻蚀上下层刻蚀差小于10%。采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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