中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向-透射电子显微镜TEM、聚焦离子束显微镜FIB以及二次离子质谱SIMS等半导体测试分析详细情况万元人民币
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中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向-透射电子显微镜TEM、聚焦离子束显微镜FIB以及二次离子质谱SIMS等半导体测试分析详细情况万元人民币
| 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2025年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 |
| 预算金额： | 1000.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | C(略)-技术测试和分析服务 |
| 采购需求概况 ： | 微电子研究所先导工艺研发中心主要承 (略) 先进器件与关键工艺的研发工作，先进工艺与器件的研发过程中，需要大量使用例如TEM（透射电子显微镜）、FIB（聚焦离子束）等先进的物理分析手段进行物理结构表征，以及例如SIMS（二次离子质谱）、EDX（能量散射型X射线荧光光谱）等先进的成分分析手段进行元素分布表征，先导中心不具备分析测试能力，需要委外进行。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2025年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 |
| 预算金额： | 1000.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | C(略)-技术测试和分析服务 |
| 采购需求概况 ： | 微电子研究所先导工艺研发中心主要承 (略) 先进器件与关键工艺的研发工作，先进工艺与器件的研发过程中，需要大量使用例如TEM（透射电子显微镜）、FIB（聚焦离子束）等先进的物理分析手段进行物理结构表征，以及例如SIMS（二次离子质谱）、EDX（能量散射型X射线荧光光谱）等先进的成分分析手段进行元素分布表征，先导中心不具备分析测试能力，需要委外进行。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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