2025年03月政府采购意向-脉冲激光晶圆加工设备
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2025年03月政府采购意向-脉冲激光晶圆加工设备
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 脉冲激光晶圆加工设备 | 1．全固体飞 (略) 直写加工，1030nm，515nm。 2. 激光器参数：中心波长1030nm±10nm，平均功率≥10W，脉冲宽度≤290fs，单脉冲能量：≥400uJ，重复频率可达1MHz，激光器内置式全自动软件可切换倍频器，功率稳定性：＜0.5% rms over 100 hours；输出脉冲间稳定性：≤0.5% rms over 24 hours，光束指向稳定性：＜20μrad/℃。 3. 系统需同时支持3d打印和改性蚀刻应用；微纳打印实现百纳米以下的特征尺度，激光改性轻易达到10nm以下的线宽，激光蚀刻可达1um以下的特征精度。 | #.00 | 2025-03 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 脉冲激光晶圆加工设备 | 1．全固体飞 (略) 直写加工，1030nm，515nm。 2. 激光器参数：中心波长1030nm±10nm，平均功率≥10W，脉冲宽度≤290fs，单脉冲能量：≥400uJ，重复频率可达1MHz，激光器内置式全自动软件可切换倍频器，功率稳定性：＜0.5% rms over 100 hours；输出脉冲间稳定性：≤0.5% rms over 24 hours，光束指向稳定性：＜20μrad/℃。 3. 系统需同时支持3d打印和改性蚀刻应用；微纳打印实现百纳米以下的特征尺度，激光改性轻易达到10nm以下的线宽，激光蚀刻可达1um以下的特征精度。 | #.00 | 2025-03 |
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