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2025年03月政府采购意向-磁控溅射镀膜机
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 磁控溅射镀膜机 | 拟采购1台磁控溅射镀膜机，可实现6英寸晶圆（基板）的各种器件材料的纳米薄膜制备，具备直流溅射、射频物理溅射以及反应溅射等功能，可用来进行单层膜、多层膜、混合膜以及膜层掺杂的制备。 | #.00 | 2025-03 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 磁控溅射镀膜机 | 拟采购1台磁控溅射镀膜机，可实现6英寸晶圆（基板）的各种器件材料的纳米薄膜制备，具备直流溅射、射频物理溅射以及反应溅射等功能，可用来进行单层膜、多层膜、混合膜以及膜层掺杂的制备。 | #.00 | 2025-03 |
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