磁控溅射镀膜设备招标预告
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磁控溅射镀膜设备招标预告
| 磁控溅射镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射镀膜设备 |
| 预算金额： | 1600.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。 1. Degas加热均匀性150+/-10℃； 2. PCII刻蚀SiO2约150？/min，片内与片间均匀性在5%以内； 3. TiN片内与片间电阻均匀性在5%以内；Al片内与片间电阻均匀性在5%以内。 |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射镀膜设备 |
| 预算金额： | 1600.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。 1. Degas加热均匀性150+/-10℃； 2. PCII刻蚀SiO2约150？/min，片内与片间均匀性在5%以内； 3. TiN片内与片间电阻均匀性在5%以内；Al片内与片间电阻均匀性在5%以内。 |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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