设备翻新招标预告
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设备翻新招标预告
启迪新材料（ (略) ） (略) 预告
启迪新材料（ (略) ）有限公司设备翻新项目
招标预告
各潜在投标人：
(略) 安天利信 (略) 受启迪新材料（ (略) ）有限公司委托，拟对“启迪新材料（ (略) ）有限公司设备翻新项目” (略) ，现发布招标预告，对步进式曝光机等 (略) 市场调研，特邀请有兴趣的潜在投标人报名并提交有关企业资料，并欢迎实地洽谈，对该项目建设提出合理的意见和宝贵的建议。
* 、项目概况
1.1项目名称：启迪新材料（ (略) ）有限公司设备翻新项目；
1.2项目编号： * AT 点击查看>>
1.3项目地点： (略) 省 (略) 市 (略) 区 (略) 技术产业开发区服务外包产业园
1.4项目概况：详见附件设备清单及要求
* 、拟采用的投标人资格要求
2.1投标人须具有在半导体企业中同类项目类似的业绩；
2.2具有良好的企业信誉；
2.3不接受联合体投标。
* 、报名要求
3.1报名时间： * 日至 * 日每天9: * - * : * ， * : * - * : * ( (略) 时间,节假日除外)；
3.2报名地点： (略) 省 (略) 市 (略) 区 (略) 技术产业开发区服务外包产业园3号楼 * 层；
3.3报名提交资料要求：提供企业营业执照、相关业绩等投标人认为可提供的其他材料。以上加盖公章的企业资料复印件 * 份在上述时间地点报名。
3.4本项目潜在投标人必须于 * 日前至启迪新材料（ (略) ） (略) (略) 踏勘，了解招标人实际情况。
* 、发布招标预告的媒介
本次招标预告同时在《 (略) 省招 (略) 》和《 (略) 网》上公开发布。
* 、联系方式
单位名称：启迪新材料（ (略) ）有限公司
联 系 人：张工
联系电话: 点击查看>>
代理机构： (略) 安天利信 (略)
联 系 人：张工
联系电话： 点击查看>>
电子邮件： * q.com
附：主要设备清单
|
序号 |
设备名称 |
厂家 |
型号 |
台数 |
备注 |
|
|
1 |
步进式曝光机 NIKON STEPPER |
NIKON |
NSR- * I9C |
1 |
|
|
|
2 |
自动曝光机 Auto Mask Aligner KP- * |
DNK |
MA- * |
1 |
|
|
|
3 |
自动上光阻机 Auto coater （ * Series system with 6*SVG Pump) |
C&D |
SVG * |
1 |
|
|
|
4 |
半自动显影Bench（半自动客制化） |
禾邑 |
HIMJ- * |
1 |
|
|
|
5 |
自动去光阻机及自动供酸 |
禾邑 |
HIMJ- * |
1 |
|
|
|
6 |
ICP感应耦合电浆刻蚀机 RIE- * ipcs |
SAMCO |
RIE- * IPC |
2 |
|
|
|
7 |
PECVD（ * Plus) |
OXFORD |
Plasmalab * +PECVD |
2 |
|
|
|
8 |
电子枪蒸镀机 Metal E-beam Evaporator System |
富临 |
FU- * PEB-ITO
|
1 |
|
|
|
9 |
电子枪蒸镀机 Metal E-beam Evaporator System |
富临 |
FU- * PEB-ITO |
1 |
|
|
|
* |
O2 Plasma 电浆清洗机 PRS |
志圣 |
PRS |
1 |
|
|
|
* |
SPIIN RINSE DRY 旋干机 CT- * D |
瑞耘 |
CT- * D |
2 |
|
|
|
* |
烤箱 OVEN |
华扬 |
FO- * |
1 |
|
|
|
* |
可见光谱仪 |
统新 |
S * |
1 |
|
|
|
* |
光激光量测仪 （VERTEX M1-WF- * PL |
VERTEX |
M1-WF- * PL |
1 |
|
|
|
*
|
电阻测量机Resistivity Measurement Machine （RT- * ） |
德技 |
RG-7B |
1 |
|
|
|
* |
手动焊线机 |
K&S |
* |
1 |
|
|
|
* |
蓝光回火炉（高温磊晶炉） 4″晶圆用 |
陵胜 |
KE-A * -MS |
1 |
|
|
|
* |
Scrubber洗涤器（for ICP机台） |
* 威 |
SBSU * |
1 |
|
|
|
* |
Scrubber洗涤器（for ICP机台） |
* 威 |
SBSU * |
1 |
|
|
|
* |
蓝光Scrubber |
* 威 |
A * |
3 |
|
|
|
* |
Burn BOX 燃烧箱+集尘桶 |
真晟 |
JC- 点击查看>> |
2 |
|
|
|
共计：
|
* |
|
|
|||
设备翻新要求：
1、每台设备均需提供设备翻新后技术指标及安装基础图，满足2/4寸晶圆生产线生产，负责翻新及安装调试。
2、每台翻新设备投产后，将保持较 (略) 工况，因此， (略) 家提供的设备备件质量稳定、可靠，使用寿命符合技术要求。
3、设备翻新 (略) 家指定地点，业主提供自来水和去离子水，工业用电， (略) 家提供CDA等机台简单工艺调试气体。
4、控制操作系统：根据设备实际系统，恢复原有设备系统；
5、传送系统：传送腔体检漏、机械手校准、晶圆定位及寻边装置确认恢复；
6、使用药液设备翻新需管路清洗或更换，必须保证设备能正常生产，避免老化漏液；
7、特气设备管道捡漏老化更换，MFC流量计必须依据实际情况确认是否翻新校准；
8、所有设备泵依据实际情况翻新，并保证设备调试后正常运转指标达标；
9、刻蚀成膜系统，反应腔体及组件、ICP源RF模块、偏置RF模块、下电极、工艺气路模块、分子泵、ESC模块、温控模块、是否可用，如缺损，必须更换能使用的备件，并质保1年时间；
* 、在签订合同前，招标方保留对本技术规格及要求提出补充要求和修改的权力，投标方应承诺予以配合。
启迪新材料（ (略) ） (略) 预告
启迪新材料（ (略) ）有限公司设备翻新项目
招标预告
各潜在投标人：
(略) 安天利信 (略) 受启迪新材料（ (略) ）有限公司委托，拟对“启迪新材料（ (略) ）有限公司设备翻新项目” (略) ，现发布招标预告，对步进式曝光机等 (略) 市场调研，特邀请有兴趣的潜在投标人报名并提交有关企业资料，并欢迎实地洽谈，对该项目建设提出合理的意见和宝贵的建议。
* 、项目概况
1.1项目名称：启迪新材料（ (略) ）有限公司设备翻新项目；
1.2项目编号： * AT 点击查看>>
1.3项目地点： (略) 省 (略) 市 (略) 区 (略) 技术产业开发区服务外包产业园
1.4项目概况：详见附件设备清单及要求
* 、拟采用的投标人资格要求
2.1投标人须具有在半导体企业中同类项目类似的业绩；
2.2具有良好的企业信誉；
2.3不接受联合体投标。
* 、报名要求
3.1报名时间： * 日至 * 日每天9: * - * : * ， * : * - * : * ( (略) 时间,节假日除外)；
3.2报名地点： (略) 省 (略) 市 (略) 区 (略) 技术产业开发区服务外包产业园3号楼 * 层；
3.3报名提交资料要求：提供企业营业执照、相关业绩等投标人认为可提供的其他材料。以上加盖公章的企业资料复印件 * 份在上述时间地点报名。
3.4本项目潜在投标人必须于 * 日前至启迪新材料（ (略) ） (略) (略) 踏勘，了解招标人实际情况。
* 、发布招标预告的媒介
本次招标预告同时在《 (略) 省招 (略) 》和《 (略) 网》上公开发布。
* 、联系方式
单位名称：启迪新材料（ (略) ）有限公司
联 系 人：张工
联系电话: 点击查看>>
代理机构： (略) 安天利信 (略)
联 系 人：张工
联系电话： 点击查看>>
电子邮件： * q.com
附：主要设备清单
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序号 |
设备名称 |
厂家 |
型号 |
台数 |
备注 |
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1 |
步进式曝光机 NIKON STEPPER |
NIKON |
NSR- * I9C |
1 |
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|
2 |
自动曝光机 Auto Mask Aligner KP- * |
DNK |
MA- * |
1 |
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3 |
自动上光阻机 Auto coater （ * Series system with 6*SVG Pump) |
C&D |
SVG * |
1 |
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4 |
半自动显影Bench（半自动客制化） |
禾邑 |
HIMJ- * |
1 |
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|
5 |
自动去光阻机及自动供酸 |
禾邑 |
HIMJ- * |
1 |
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6 |
ICP感应耦合电浆刻蚀机 RIE- * ipcs |
SAMCO |
RIE- * IPC |
2 |
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7 |
PECVD（ * Plus) |
OXFORD |
Plasmalab * +PECVD |
2 |
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8 |
电子枪蒸镀机 Metal E-beam Evaporator System |
富临 |
FU- * PEB-ITO
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1 |
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9 |
电子枪蒸镀机 Metal E-beam Evaporator System |
富临 |
FU- * PEB-ITO |
1 |
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O2 Plasma 电浆清洗机 PRS |
志圣 |
PRS |
1 |
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SPIIN RINSE DRY 旋干机 CT- * D |
瑞耘 |
CT- * D |
2 |
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烤箱 OVEN |
华扬 |
FO- * |
1 |
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* |
可见光谱仪 |
统新 |
S * |
1 |
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* |
光激光量测仪 （VERTEX M1-WF- * PL |
VERTEX |
M1-WF- * PL |
1 |
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电阻测量机Resistivity Measurement Machine （RT- * ） |
德技 |
RG-7B |
1 |
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* |
手动焊线机 |
K&S |
* |
1 |
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蓝光回火炉（高温磊晶炉） 4″晶圆用 |
陵胜 |
KE-A * -MS |
1 |
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|
* |
Scrubber洗涤器（for ICP机台） |
* 威 |
SBSU * |
1 |
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|
|
* |
Scrubber洗涤器（for ICP机台） |
* 威 |
SBSU * |
1 |
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* |
蓝光Scrubber |
* 威 |
A * |
3 |
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Burn BOX 燃烧箱+集尘桶 |
真晟 |
JC- 点击查看>> |
2 |
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共计：
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* |
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设备翻新要求：
1、每台设备均需提供设备翻新后技术指标及安装基础图，满足2/4寸晶圆生产线生产，负责翻新及安装调试。
2、每台翻新设备投产后，将保持较 (略) 工况，因此， (略) 家提供的设备备件质量稳定、可靠，使用寿命符合技术要求。
3、设备翻新 (略) 家指定地点，业主提供自来水和去离子水，工业用电， (略) 家提供CDA等机台简单工艺调试气体。
4、控制操作系统：根据设备实际系统，恢复原有设备系统；
5、传送系统：传送腔体检漏、机械手校准、晶圆定位及寻边装置确认恢复；
6、使用药液设备翻新需管路清洗或更换，必须保证设备能正常生产，避免老化漏液；
7、特气设备管道捡漏老化更换，MFC流量计必须依据实际情况确认是否翻新校准；
8、所有设备泵依据实际情况翻新，并保证设备调试后正常运转指标达标；
9、刻蚀成膜系统，反应腔体及组件、ICP源RF模块、偏置RF模块、下电极、工艺气路模块、分子泵、ESC模块、温控模块、是否可用，如缺损，必须更换能使用的备件，并质保1年时间；
* 、在签订合同前，招标方保留对本技术规格及要求提出补充要求和修改的权力，投标方应承诺予以配合。
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