气相沉积炉招标预告
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气相沉积炉招标预告
| 气相沉积炉 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 气相沉积炉 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A 点击查看>> 真空应用设备,A * (略) 理设备 |
| 采购需求概况： |
化学气相沉积系统，1套主要应用于石墨烯的生长，配备等离子系统支持在较低温度下实现高质量单层沉积；单层覆盖率可达 * %，均匀性：<±5%；衬底尺寸： 6" 及以下基底或托架(支持小晶圆,小片样品)；等离子增强沉积温度低，有可能实现在铜、镍之外基底上生长石墨烯；工艺速度快，仪器使用效率高；腔壁上的反应和产物沉积少或清洗方便快捷；自带闭路循环冷凝水系统，减少对安装设施条件依赖；随仪器提供多组成熟优化工艺，全自动操作，运行中可实时修改工艺；安全内锁与气体泄漏实时监控，有效防范仪器故障和安全事故； |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： |
用户单位为石墨烯工程 (略) 。 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 气相沉积炉 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 气相沉积炉 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A 点击查看>> 真空应用设备,A * (略) 理设备 |
| 采购需求概况： |
化学气相沉积系统，1套主要应用于石墨烯的生长，配备等离子系统支持在较低温度下实现高质量单层沉积；单层覆盖率可达 * %，均匀性：<±5%；衬底尺寸： 6" 及以下基底或托架(支持小晶圆,小片样品)；等离子增强沉积温度低，有可能实现在铜、镍之外基底上生长石墨烯；工艺速度快，仪器使用效率高；腔壁上的反应和产物沉积少或清洗方便快捷；自带闭路循环冷凝水系统，减少对安装设施条件依赖；随仪器提供多组成熟优化工艺，全自动操作，运行中可实时修改工艺；安全内锁与气体泄漏实时监控，有效防范仪器故障和安全事故； |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： |
用户单位为石墨烯工程 (略) 。 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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