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显微分光膜厚仪

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显微分光膜厚仪


竞价结果详细( *** )---- (略) 先进电子材料国 (略)
申购单主题:显微分光膜厚仪申购单位:采购办
审批时间:申购备注:
设备名称 (略) 商型号是否标配规格数量 报价类型售后服务附件
显微分光膜厚仪 大塚电子 OPTM-A1T 1、测试头要求:1.1膜厚精度:1μm未满:NIST认定试料(SiO2/Si)的膜厚保证范围内 1μm以上:±0.2%1.2重复精度:膜厚测量(Si基板上SiO2膜) * nm未满:0.1nm * nm以上:0. * % 反射率测量: * nm~ * nm:0.5%1.3多层膜解析:最大 * 层1.4测试范围:1nm~ * μm1.5测试头包含测试头本体,对物镜和标准铝镜2、自动XY平台要求:2.1重复精度:2μm2.2驱动分辨率:1μm2.3 XY自动平台尺寸为 * * * mm,附带域传感器3、控制器要求:包含控制器本体及紧急停止用的蘑菇型开关4、电脑以及软件功能参数: 3.1测定:菜单测量/连续测量/映射测量/微测量/测量同时演算功能 3.2解析:最小 * 乘法、最适法、周期解析(FFT) 峰谷法(PV)法、基板解析、里面反射补正、各种光学常数(nk)、解析模型式、图表显示(等高线/3D)对反射率/解析结果fitting/光学常数(nk)的波长依存性 复数点解析 3.3系统维护:材料膜构筑(数据库管理)、硬件的各种设定 3.4调整功能:图形调整、post解析、通信命令对应 3.5 电脑为Windows * 笔记本PC5、晶圆支架:4/6/8寸晶圆支架,国内采购6、反射对物镜:( * 倍,Φ3μm) 1.0 进口免税价;
人民币
下载
中标供应商是否满足单价售后服务 备注初选理由
大塚电子( (略) )有限公司 *** .0最低价原则


竞价结果详细( *** )---- (略) 先进电子材料国 (略)
申购单主题:显微分光膜厚仪申购单位:采购办
审批时间:申购备注:
设备名称 (略) 商型号是否标配规格数量 报价类型售后服务附件
显微分光膜厚仪 大塚电子 OPTM-A1T 1、测试头要求:1.1膜厚精度:1μm未满:NIST认定试料(SiO2/Si)的膜厚保证范围内 1μm以上:±0.2%1.2重复精度:膜厚测量(Si基板上SiO2膜) * nm未满:0.1nm * nm以上:0. * % 反射率测量: * nm~ * nm:0.5%1.3多层膜解析:最大 * 层1.4测试范围:1nm~ * μm1.5测试头包含测试头本体,对物镜和标准铝镜2、自动XY平台要求:2.1重复精度:2μm2.2驱动分辨率:1μm2.3 XY自动平台尺寸为 * * * mm,附带域传感器3、控制器要求:包含控制器本体及紧急停止用的蘑菇型开关4、电脑以及软件功能参数: 3.1测定:菜单测量/连续测量/映射测量/微测量/测量同时演算功能 3.2解析:最小 * 乘法、最适法、周期解析(FFT) 峰谷法(PV)法、基板解析、里面反射补正、各种光学常数(nk)、解析模型式、图表显示(等高线/3D)对反射率/解析结果fitting/光学常数(nk)的波长依存性 复数点解析 3.3系统维护:材料膜构筑(数据库管理)、硬件的各种设定 3.4调整功能:图形调整、post解析、通信命令对应 3.5 电脑为Windows * 笔记本PC5、晶圆支架:4/6/8寸晶圆支架,国内采购6、反射对物镜:( * 倍,Φ3μm) 1.0 进口免税价;
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