品牌

SEMISHARE

型号

E6

(略) 商

深圳市 (略)

产地信息

中国

技术规格及参数

尺寸:680mm长*670mm宽*760mm高
卡盘台采用便捷的调节模式，X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸，精度:10micron，每个轴都带有自锁阻尼
卡盘X/Y轴为无间隙移动，每旋转一圈行进为1mm
卡盘平整度：+-5μm,卡盘可以360度无间隙旋转
卡盘角度可旋转微调，调节精度0.002°
卡盘台可以上下快速升降5mm，便于样品快速分离探针
卡盘微调升降，行程6mm，精度1微米
可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动，精度1微米（系统不包含显微镜）
显微镜气动升降50mm，便于更换物镜(需要压缩空气)
可升降调节适合加装探针卡
自适应减震结构
配备三轴槽型卡盘:
直径 ：105mm/155mm/205mm/310mm
厚度 ：4寸：28mm；6寸/8寸/12寸： 点击查看>> mm
卡盘平整度：±5μm
真空吸附方式： 中心吸附孔+外围多圈吸附槽
中心孔孔径：0.4mm，中心孔和3m (略) 气路连通
外围吸附槽直径(mm)：3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194, 214, 254, 294 mm
卡盘为三轴结构，带Top plate 层，Guard层和Ground屏蔽层
卡盘Top plate电学独立悬空，带两个M3螺纹孔和螺丝（接测试线用）
漏电流： 50fA/V @25℃
升级卡盘，增加两个Triaxial 母接口
配置视频显微镜:
连续变倍比：7:1
显微镜光学放大倍率范围：0.75 – 5.25X，配合19inch显示器放大倍率可以达到216X
分辨率：72–240 lp/mm， 最高分辨率优于4μm
NA值：0.0240 – 0.080
景深：0.98 – 0.09 mm
低倍下视场：6.40 x 8.53 mm
高倍下视场：0.91 x 1.22 mm
工作距离：89mm
150W 高功率白色照明灯源（亮度可以无级调节）
显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 点击查看>> mm
物镜: 5X(工作距离: 点击查看>> mm,NA:0.14)

售后及质保要求

中标人提供制造商免费质保【1】年。3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

品牌

SEMISHARE

型号

E6

(略) 商

深圳市 (略)

产地信息

中国

技术规格及参数

尺寸:680mm长*670mm宽*760mm高
卡盘台采用便捷的调节模式，X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸，精度:10micron，每个轴都带有自锁阻尼
卡盘X/Y轴为无间隙移动，每旋转一圈行进为1mm
卡盘平整度：+-5μm,卡盘可以360度无间隙旋转
卡盘角度可旋转微调，调节精度0.002°
卡盘台可以上下快速升降5mm，便于样品快速分离探针
卡盘微调升降，行程6mm，精度1微米
可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动，精度1微米（系统不包含显微镜）
显微镜气动升降50mm，便于更换物镜(需要压缩空气)
可升降调节适合加装探针卡
自适应减震结构
配备三轴槽型卡盘:
直径 ：105mm/155mm/205mm/310mm
厚度 ：4寸：28mm；6寸/8寸/12寸： 点击查看>> mm
卡盘平整度：±5μm
真空吸附方式： 中心吸附孔+外围多圈吸附槽
中心孔孔径：0.4mm，中心孔和3m (略) 气路连通
外围吸附槽直径(mm)：3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194, 214, 254, 294 mm
卡盘为三轴结构，带Top plate 层，Guard层和Ground屏蔽层
卡盘Top plate电学独立悬空，带两个M3螺纹孔和螺丝（接测试线用）
漏电流： 50fA/V @25℃
升级卡盘，增加两个Triaxial 母接口
配置视频显微镜:
连续变倍比：7:1
显微镜光学放大倍率范围：0.75 – 5.25X，配合19inch显示器放大倍率可以达到216X
分辨率：72–240 lp/mm， 最高分辨率优于4μm
NA值：0.0240 – 0.080
景深：0.98 – 0.09 mm
低倍下视场：6.40 x 8.53 mm
高倍下视场：0.91 x 1.22 mm
工作距离：89mm
150W 高功率白色照明灯源（亮度可以无级调节）
显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 点击查看>> mm
物镜: 5X(工作距离: 点击查看>> mm,NA:0.14)

售后及质保要求

中标人提供制造商免费质保【1】年。3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。