高真空多靶磁控溅射镀膜机（JJ20221384）成交结果公告
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高真空多靶磁控溅射镀膜机（JJ20221384）成交结果公告
| 项目名称 | 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 项目编号 | JJ* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
| 采购单位 | 重庆大学 | 付款方式 | 预付款10.0万，到货验收合格后支付6.0万，验收合格后1年后支付2.0万 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签订3个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 重庆大学虎溪校区理 (略) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 | 其他仪器 |
| 品牌 | 泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | JCP350 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.真空腔室φ 350× H350mm，SUS304优质不锈钢真空腔室，上开门结构，顶板焊水线；2.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；分子泵：FF-160/620，抽速：600 L/S，1台 KYKY直联高速旋片式真空泵：TRP-24，6 L/s，1台 北仪优成主阀：DN150高真空电动插板阀，1套 北京前级/预抽阀：DN40气动挡板阀，2套 泰科诺放气阀：Φ6 mm，电磁截止阀，1套 七星华创数显复合真空计：两低一高，含规管，1套 成都不锈钢波纹管；1套 泰科诺可拆卸密封采用氟橡胶圈密封；不常拆卸密封采用金属密封 1套 泰科诺3.真空极限6.0× 10-5 Pa（设备空载，抽真空24小时）；4.升压率设备升压率：≤0.8 Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10 Pa；5.抽速从大气抽至5.0× 10-3Pa≤15 min（设备空载）；从大气抽至5.0× 10-3Pa≤10 min（设备空载，干燥氮气环境）；6.基片台①基片台尺寸Φ 120 mm，最大样品尺寸小于Φ 120 mm；配有基片台挡板；②旋转转速0～20 转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源；③加热:室温～500±1 ℃（基片台环境温度）；PID智能温控闭环控温，可控可调；射频接头（用于样品清洗） 1套泰科诺7.溅射靶及电源①配置2套2英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、靶基距手动可调），向上溅射；其中1支为强磁靶，配有气动挡板结构；泰科诺②工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜；③电源：直流脉冲溅射电源1 kW，数字化控制及显示可调控，1台；射频电源RF500W，数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1 kV，数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统质量流量控制器及量程范围：Ar，100 sccm；N2，20 sccm；O2，10 sccm；质量流量控制器及量程范围：Ar，100 sccm；N2，20 sccm；O2，10 sccm；3路七星华创电磁截止阀：Φ 6mm；1套 七星华创混气管：三进一出；1台 泰科诺气管，接头 1套 北京9.膜厚不均匀性≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ75mm 范围内）；10.控制方式PLC+触摸屏控制；11.报警及保护对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；12.空压机 TYW-Ⅱ型 1套循环水机 2P 1台13.铜靶 99.99% 1个镍靶 99.99% 1个 |
| 售后服务 | 电话支持:7x8小时;质保期限:1年;响应时间:48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;发票类型:增值税专用发票;质保金:无;售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料和相应软件。1.培训 ①供方派技术工程师对需方人员进行一次免费的设备安装、调试、定位、技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的；②供方应提供详细的培训课程讲义及培训；③安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；④培训地点：用户现场；培训时间：1天。2. 文档资料①设备使用说明书1套；②设备电气原理图1套；③设备易损件清单1套；④装箱单。; |
| 项目名称 | 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 项目编号 | JJ* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
| 采购单位 | 重庆大学 | 付款方式 | 预付款10.0万，到货验收合格后支付6.0万，验收合格后1年后支付2.0万 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签订3个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 重庆大学虎溪校区理 (略) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 | 其他仪器 |
| 品牌 | 泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | JCP350 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.真空腔室φ 350× H350mm，SUS304优质不锈钢真空腔室，上开门结构，顶板焊水线；2.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；分子泵：FF-160/620，抽速：600 L/S，1台 KYKY直联高速旋片式真空泵：TRP-24，6 L/s，1台 北仪优成主阀：DN150高真空电动插板阀，1套 北京前级/预抽阀：DN40气动挡板阀，2套 泰科诺放气阀：Φ6 mm，电磁截止阀，1套 七星华创数显复合真空计：两低一高，含规管，1套 成都不锈钢波纹管；1套 泰科诺可拆卸密封采用氟橡胶圈密封；不常拆卸密封采用金属密封 1套 泰科诺3.真空极限6.0× 10-5 Pa（设备空载，抽真空24小时）；4.升压率设备升压率：≤0.8 Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10 Pa；5.抽速从大气抽至5.0× 10-3Pa≤15 min（设备空载）；从大气抽至5.0× 10-3Pa≤10 min（设备空载，干燥氮气环境）；6.基片台①基片台尺寸Φ 120 mm，最大样品尺寸小于Φ 120 mm；配有基片台挡板；②旋转转速0～20 转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源；③加热:室温～500±1 ℃（基片台环境温度）；PID智能温控闭环控温，可控可调；射频接头（用于样品清洗） 1套泰科诺7.溅射靶及电源①配置2套2英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、靶基距手动可调），向上溅射；其中1支为强磁靶，配有气动挡板结构；泰科诺②工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜；③电源：直流脉冲溅射电源1 kW，数字化控制及显示可调控，1台；射频电源RF500W，数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1 kV，数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统质量流量控制器及量程范围：Ar，100 sccm；N2，20 sccm；O2，10 sccm；质量流量控制器及量程范围：Ar，100 sccm；N2，20 sccm；O2，10 sccm；3路七星华创电磁截止阀：Φ 6mm；1套 七星华创混气管：三进一出；1台 泰科诺气管，接头 1套 北京9.膜厚不均匀性≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ75mm 范围内）；10.控制方式PLC+触摸屏控制；11.报警及保护对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；12.空压机 TYW-Ⅱ型 1套循环水机 2P 1台13.铜靶 99.99% 1个镍靶 99.99% 1个 |
| 售后服务 | 电话支持:7x8小时;质保期限:1年;响应时间:48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;发票类型:增值税专用发票;质保金:无;售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料和相应软件。1.培训 ①供方派技术工程师对需方人员进行一次免费的设备安装、调试、定位、技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的；②供方应提供详细的培训课程讲义及培训；③安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；④培训地点：用户现场；培训时间：1天。2. 文档资料①设备使用说明书1套；②设备电气原理图1套；③设备易损件清单1套；④装箱单。; |
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