手动式单面紫外光刻机采购（XF-WSBX-2200933）成交结果公告

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手动式单面紫外光刻机采购（XF-WSBX-2200933）成交结果公告

项目名称手动式单面紫外光刻机采购项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后15天
预 算*.0
收货地址浙江杭州余杭塘路866号浙江大学紫金港校区东四教学楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
手动式单面紫外光刻机1台其他特种设备
品牌鸿源鼎芯
型号H19-13型4寸单面
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算*.0
技术参数及配置要求一．技术参数：1．曝光类型：单面曝光；☆2．曝光面积：110×110mm；☆3．曝光照度不均匀性：≤3%；☆4．曝光强度：≥40mw/cm2可调；☆5．紫外光束角：≤2度；☆6．紫外光中心波长：365nm：7．紫外光源寿命：≥2万小时；8．曝光分辨率：1μm；☆9．曝光模式：可选择一次曝光和套刻曝光；☆10．显微镜扫描范围：Y：±30mm；11．对准范围：X、Y±5mm（移动精度0.5um），Q±5°（移动精度0.001°）12．对准精度：正面1μm；☆13．分离量；0～999μm可调；14．接触－分离漂移：≤1μm；☆15．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光；☆16．找平方式：气悬浮自动找平；☆17．显微系统：视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理对位软件，19″液晶监视器；18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″；19．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″；20．基片厚度：0.1～6mm；21．曝光定时：0～999.9秒可调；22．对准方式：千分尺手动XYQ对位平台（精度0.1um）☆23．镜头移动：电动；☆24.升降方式：电动（伺服）☆25. 电源：单相AC220V50HZ ，功耗≤1KW；26．洁净空气压力：≥0.4MPa；27．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa；28．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×2000mm（高）；29．重量：约300Kg。二．配置：本机由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。1．曝光头：LED紫外曝光头一台。2．CCD显微显示系统：1）CCD数码摄像机二只；2）可变倍显微镜二只；3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。4）焦距、物距调节台一套；5）扫描机构一套（电动）；6）LED同轴照明光源二台。3．对准工作台；1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件；2）φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件；3）气悬浮自动找平机构一套；4）高精度千分尺对位平台一套；5）高精度伺服升降装置一套;4．电气控制台：1）PLC可编程控制器一台；2）电磁阀及控制系统一套；3）气动、真空仪表一套。5．备附件：1）真空软管（φ8mm）15m；2）电磁阀二只；3）紫外光强计一只；4）无油静音真空泵一台；5）无油静音空压机一台。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x8小时;质保期:2;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

信息来源：http://**
项目名称手动式单面紫外光刻机采购项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后15天
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收货地址浙江杭州余杭塘路866号浙江大学紫金港校区东四教学楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

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品牌鸿源鼎芯
型号H19-13型4寸单面
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
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技术参数及配置要求一．技术参数：1．曝光类型：单面曝光；☆2．曝光面积：110×110mm；☆3．曝光照度不均匀性：≤3%；☆4．曝光强度：≥40mw/cm2可调；☆5．紫外光束角：≤2度；☆6．紫外光中心波长：365nm：7．紫外光源寿命：≥2万小时；8．曝光分辨率：1μm；☆9．曝光模式：可选择一次曝光和套刻曝光；☆10．显微镜扫描范围：Y：±30mm；11．对准范围：X、Y±5mm（移动精度0.5um），Q±5°（移动精度0.001°）12．对准精度：正面1μm；☆13．分离量；0～999μm可调；14．接触－分离漂移：≤1μm；☆15．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光；☆16．找平方式：气悬浮自动找平；☆17．显微系统：视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理对位软件，19″液晶监视器；18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″；19．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″；20．基片厚度：0.1～6mm；21．曝光定时：0～999.9秒可调；22．对准方式：千分尺手动XYQ对位平台（精度0.1um）☆23．镜头移动：电动；☆24.升降方式：电动（伺服）☆25. 电源：单相AC220V50HZ ，功耗≤1KW；26．洁净空气压力：≥0.4MPa；27．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa；28．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×2000mm（高）；29．重量：约300Kg。二．配置：本机由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。1．曝光头：LED紫外曝光头一台。2．CCD显微显示系统：1）CCD数码摄像机二只；2）可变倍显微镜二只；3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。4）焦距、物距调节台一套；5）扫描机构一套（电动）；6）LED同轴照明光源二台。3．对准工作台；1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件；2）φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件；3）气悬浮自动找平机构一套；4）高精度千分尺对位平台一套；5）高精度伺服升降装置一套;4．电气控制台：1）PLC可编程控制器一台；2）电磁阀及控制系统一套；3）气动、真空仪表一套。5．备附件：1）真空软管（φ8mm）15m；2）电磁阀二只；3）紫外光强计一只；4）无油静音真空泵一台；5）无油静音空压机一台。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x8小时;质保期:2;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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