原子层沉积系统采购项目(三次)结果公告（合同包1）
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原子层沉积系统采购项目(三次)结果公告（合同包1）
合同包1:
| 供应商名称 | 供应商地址 | 中标（成交）金额 |
|---|---|---|
| 江苏迈 (略) | (略) 菱湖大道228号天安智慧城3-104 | 981,000.00元 |
合同包1(原子层沉积系统采购项目):
货物类（江苏迈 (略) ）
| 品目号 | 品目编号及品目名称 | 采购标的 | 品牌 | 规格型号 | 数量 | 单位 | 单价(元) | 金额(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1-1 | 其他仪器仪表 | 原子层沉积系统 | 迈纳德 | 1、?反应腔系统★1) 样品台为不小于4英寸双腔腔体，加热温度范围：室温至500 ℃，并且操作者可以控制设置，控制精度≤1 ℃，直径100 mm基底范围内温度均一性2 ℃；2) 样品台直径100 mm，可以生长4英寸晶圆及以下尺寸样品；3) 4路液源，3路载气辅助源；▲4) 设备可用于沉积单一薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性；▲5) 设备本底真空小于或等于1 Pa，腔体漏率小于或等于5×10?-10Pa·m3/s。2、前驱体源输送系统1) 为减少薄膜在前驱体输送管路内的污染，前源输送管路与金属前驱体源输送管路单独进入反应腔体。★2) 配备6路金属前驱体源输送管路，加热源3路，载气辅助源3路，配备载气管路和质量流量控制器。★3) 金属前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度250 ℃。配置温度传感器，温度控制精度≤±1℃。▲4) 每路管路配备ALD专用阀门，为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间小于5 ms，采用耐高温执行器，耐温200 ℃，阀体材料为不锈钢。阀体内置有直径为1/8英寸的加热器，外包保温套，最高加热温度200 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。▲5) 每路加热源输送管路和载气辅助源输送系统，分别配备1个ALD专用阀门、1套加热源容器以及加热保温系统。加热源容器加热保温套，最高加热温度可达250 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。6) 管路及接头均采用电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以根据需求设置自动清洗的次数。3、等离子体源及控制1) 采用电感耦合等离子体(ICP)发生器，电极与衬底距离不小于200 mm；▲2) 提供2路可用于等离子体工艺气路，包含ALD专用隔膜阀和流量控制器；3) 独立进气口，与金属前驱体源、氧源分开；▲4) 采用13.56 MHz射频电源，功率1%-100%可调，配备自动匹配器，匹配时间≤5秒。5) 等离子体系统与控制界面集成，可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线，便于分析实验数据。4、臭氧源系统：1) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器；▲2) 臭氧发生器产量 | 1 | 套 | 981,000.00 | 981,000.00 |
| 采购人代表： | 李调阳 |
| 评审专家： | 苏勤、林红华、陈家越、邵赴闽 |
代理服务费收费标准：
1.收费标准以单个合同包的中标总金额为准，按差额定率累进法计取，采购预算在100万元以上的：（0，100]万元1.50%2.招标代理服务费由中标人在领取中标通知书的同时，以转账、电汇、现金存款等付款方式一次性缴清。3. (略) 公 (略) 福州分公司账户收款帐户： (略) 公 (略) 福州分公司帐号：*277开户行:兴业银行福州西湖支行。
代理服务费收费金额：
合同包1原子层沉积系统采购项目：14715元
收取对象：中标（成交）供应商
自本公告发布之日起1个工作日。
资格审查小组按照招标文件要求对各投标人进行审查，各投标人均符合要求。
各投标人均提供了中小企业声明函，均予以15%的价格扣减。
名称：福州大学
地址： (略) 福州地区大学新区学园路2号
联系方式：0591-*
名称： (略) 公 (略)
地址： (略) 思明区湖滨南路81号21层D单元
联系方式：0591-*
项目联系人：刘冬华
电话：0591-*
(略) 公 (略)
2023年04月12日
合同包1:
| 供应商名称 | 供应商地址 | 中标（成交）金额 |
|---|---|---|
| 江苏迈 (略) | (略) 菱湖大道228号天安智慧城3-104 | 981,000.00元 |
合同包1(原子层沉积系统采购项目):
货物类（江苏迈 (略) ）
| 品目号 | 品目编号及品目名称 | 采购标的 | 品牌 | 规格型号 | 数量 | 单位 | 单价(元) | 金额(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1-1 | 其他仪器仪表 | 原子层沉积系统 | 迈纳德 | 1、?反应腔系统★1) 样品台为不小于4英寸双腔腔体，加热温度范围：室温至500 ℃，并且操作者可以控制设置，控制精度≤1 ℃，直径100 mm基底范围内温度均一性2 ℃；2) 样品台直径100 mm，可以生长4英寸晶圆及以下尺寸样品；3) 4路液源，3路载气辅助源；▲4) 设备可用于沉积单一薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性；▲5) 设备本底真空小于或等于1 Pa，腔体漏率小于或等于5×10?-10Pa·m3/s。2、前驱体源输送系统1) 为减少薄膜在前驱体输送管路内的污染，前源输送管路与金属前驱体源输送管路单独进入反应腔体。★2) 配备6路金属前驱体源输送管路，加热源3路，载气辅助源3路，配备载气管路和质量流量控制器。★3) 金属前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度250 ℃。配置温度传感器，温度控制精度≤±1℃。▲4) 每路管路配备ALD专用阀门，为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间小于5 ms，采用耐高温执行器，耐温200 ℃，阀体材料为不锈钢。阀体内置有直径为1/8英寸的加热器，外包保温套，最高加热温度200 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。▲5) 每路加热源输送管路和载气辅助源输送系统，分别配备1个ALD专用阀门、1套加热源容器以及加热保温系统。加热源容器加热保温套，最高加热温度可达250 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。6) 管路及接头均采用电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以根据需求设置自动清洗的次数。3、等离子体源及控制1) 采用电感耦合等离子体(ICP)发生器，电极与衬底距离不小于200 mm；▲2) 提供2路可用于等离子体工艺气路，包含ALD专用隔膜阀和流量控制器；3) 独立进气口，与金属前驱体源、氧源分开；▲4) 采用13.56 MHz射频电源，功率1%-100%可调，配备自动匹配器，匹配时间≤5秒。5) 等离子体系统与控制界面集成，可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线，便于分析实验数据。4、臭氧源系统：1) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器；▲2) 臭氧发生器产量 | 1 | 套 | 981,000.00 | 981,000.00 |
| 采购人代表： | 李调阳 |
| 评审专家： | 苏勤、林红华、陈家越、邵赴闽 |
代理服务费收费标准：
1.收费标准以单个合同包的中标总金额为准，按差额定率累进法计取，采购预算在100万元以上的：（0，100]万元1.50%2.招标代理服务费由中标人在领取中标通知书的同时，以转账、电汇、现金存款等付款方式一次性缴清。3. (略) 公 (略) 福州分公司账户收款帐户： (略) 公 (略) 福州分公司帐号：*277开户行:兴业银行福州西湖支行。
代理服务费收费金额：
合同包1原子层沉积系统采购项目：14715元
收取对象：中标（成交）供应商
自本公告发布之日起1个工作日。
资格审查小组按照招标文件要求对各投标人进行审查，各投标人均符合要求。
各投标人均提供了中小企业声明函，均予以15%的价格扣减。
名称：福州大学
地址： (略) 福州地区大学新区学园路2号
联系方式：0591-*
名称： (略) 公 (略)
地址： (略) 思明区湖滨南路81号21层D单元
联系方式：0591-*
项目联系人：刘冬华
电话：0591-*
(略) 公 (略)
2023年04月12日
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