品牌

赫智科技

型号

TTT-07-UV Litho-ACA（G）

生产厂商

赫智科技（苏州）有限公司

产地信息

苏州

技术规格及参数

1. 曝光光源：LED: 405 nm
2. 数字掩模板分辨率：1920 × 1080像素，单像素尺寸不超过7.6 μm
3. 最小线宽：1μm
4. 曝光速度：
1) 观测镜头：大范围样品观测 2.6 mm × 1.7 mm
2) 光刻镜头A：0.4 mm × 0.4 mm，20 mm2/*@*.8 μm
3) 光刻镜头B：0.16 mm × 0.16 mm，3 mm2/*@* μm
5. 显微观测参数：
1) 支持，不引起光刻胶变性；紫外安全照明
2) 相机：大靶面工业视觉相机（1 inch），2000万像素
6. 套刻参数：
1) 精准套刻
单画幅套刻精度：400 nm（指引光）
全画幅套刻精度：1000 nm（全局畸变矫正算法）
2) 套刻指引
绿光，实时光刻预览，实现所见即所得
7. 运动台参数：
1) 电动位移台：
类型：高性能无铁芯直线驱动电机（无回程差）
行程：155 mm
步进精度： 50 nm（直线光栅尺精度）
双向重复定位精度：± 100 nm
2) 自动对焦模组：
机器视觉智能主动对焦功能
支持样品厚度：0-15 mm（运动台行程20mm）
步进精度： 50 nm（直线光栅尺精度）
3) 旋转位移台：
类型：电动
行程：细调范围±30°
步进精度：0.0005°
4) 高精度电动镜头切换线轨：支持三个物镜的快速切换（＜200 ms），重复定位精度优于300nm
8. 支持基片尺寸：3mm × 3 mm（最小），150 mm × 150 mm（最大）
9. 光学平台：高精度大理石底座
10. 原厂软件：
全自动光刻控制软件：
可变参数阵列光刻
进度显示
尺寸测量
深度定制的矢量图转像素图软件：
套刻画图
阵列画图
11. 其他参数：
1) 设备主体：65 cm（长） × 56 cm（宽） × 65 cm（高）
2) 设备重量：125 kg
3) 附属配件：电脑，键鼠套装，真空泵
4) 手套箱功能：可配套手套箱使用
我方提供的无掩膜紫外光刻机为全新原装且未经过使用过的货物。所提供的软件保证是正版软件。

质保期

货到客户现场且经验收合格后12个月

售后要求

1、质量保证和售后服务 (1)免费质量保证期为验收合格之日起 1 年，在质保期内，提供硬件免费质保、软件免费升级。 (2)仪器到达采购单位项目现场前，我方提供安装前期准备书面通知，并协助采购单位做好安装前准备。 (3) 到货后免费由我方技术人员到现场进行安装调试后交付采购单位使用。 (4)免费提供我方技术人员对采购单位的操作技术培训和相关技术资料。培训内容包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等。 (5)在质量保证期内如货物出现非人为导致的故障，我方自负费用提供质量保证期服务，对相关货物进行修理以消除故障。 (6)我方为质量保证期服务配备充足的技术人员、工具和备件并保证提供的联系方式畅通。我方提供 7*24 小时售后服务，在收到采购单位通知后24小时内作出响应，48小时给客户进行远程解决方案。 (7)免费质保期届满后，若设备出现故障，我方响应时间与上述第(6)条相同。采购单位支付产品的配件成本费用及适当的人工费用，其他免费。 (8)如我方技术人员需到货物现场进行质量保证期服务，则我方技术人员的交通、食宿等费用由我方承担。我方技术人员遵守采购单位现场的各项规章制度和安全操作规程，并服从采购单位的现场管理。 (9)我方在就货物现场进行质量保证期服务的情况进行记录，记载合同货物故障发生的时间、原因及解决情况等，由采购单位签字确认，并在质量保证期结束后提交给采购单位。 (10)我方有持续的备品备件供应，在质保期后，如机器发生故障，我方承诺向用户提供优质快速有保障的维修服务，提供的备品备件，只收取成本费用。 (11)我方提供的无掩膜紫外光刻机为全新原装且未经过使用过的货物。所提供的软件保证是正版软件。

品牌

赫智科技

型号

TTT-07-UV Litho-ACA（G）

生产厂商

赫智科技（苏州）有限公司

产地信息

苏州

技术规格及参数

1. 曝光光源：LED: 405 nm
2. 数字掩模板分辨率：1920 × 1080像素，单像素尺寸不超过7.6 μm
3. 最小线宽：1μm
4. 曝光速度：
1) 观测镜头：大范围样品观测 2.6 mm × 1.7 mm
2) 光刻镜头A：0.4 mm × 0.4 mm，20 mm2/*@*.8 μm
3) 光刻镜头B：0.16 mm × 0.16 mm，3 mm2/*@* μm
5. 显微观测参数：
1) 支持，不引起光刻胶变性；紫外安全照明
2) 相机：大靶面工业视觉相机（1 inch），2000万像素
6. 套刻参数：
1) 精准套刻
单画幅套刻精度：400 nm（指引光）
全画幅套刻精度：1000 nm（全局畸变矫正算法）
2) 套刻指引
绿光，实时光刻预览，实现所见即所得
7. 运动台参数：
1) 电动位移台：
类型：高性能无铁芯直线驱动电机（无回程差）
行程：155 mm
步进精度： 50 nm（直线光栅尺精度）
双向重复定位精度：± 100 nm
2) 自动对焦模组：
机器视觉智能主动对焦功能
支持样品厚度：0-15 mm（运动台行程20mm）
步进精度： 50 nm（直线光栅尺精度）
3) 旋转位移台：
类型：电动
行程：细调范围±30°
步进精度：0.0005°
4) 高精度电动镜头切换线轨：支持三个物镜的快速切换（＜200 ms），重复定位精度优于300nm
8. 支持基片尺寸：3mm × 3 mm（最小），150 mm × 150 mm（最大）
9. 光学平台：高精度大理石底座
10. 原厂软件：
全自动光刻控制软件：
可变参数阵列光刻
进度显示
尺寸测量
深度定制的矢量图转像素图软件：
套刻画图
阵列画图
11. 其他参数：
1) 设备主体：65 cm（长） × 56 cm（宽） × 65 cm（高）
2) 设备重量：125 kg
3) 附属配件：电脑，键鼠套装，真空泵
4) 手套箱功能：可配套手套箱使用
我方提供的无掩膜紫外光刻机为全新原装且未经过使用过的货物。所提供的软件保证是正版软件。

质保期

货到客户现场且经验收合格后12个月

售后要求

1、质量保证和售后服务 (1)免费质量保证期为验收合格之日起 1 年，在质保期内，提供硬件免费质保、软件免费升级。 (2)仪器到达采购单位项目现场前，我方提供安装前期准备书面通知，并协助采购单位做好安装前准备。 (3) 到货后免费由我方技术人员到现场进行安装调试后交付采购单位使用。 (4)免费提供我方技术人员对采购单位的操作技术培训和相关技术资料。培训内容包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等。 (5)在质量保证期内如货物出现非人为导致的故障，我方自负费用提供质量保证期服务，对相关货物进行修理以消除故障。 (6)我方为质量保证期服务配备充足的技术人员、工具和备件并保证提供的联系方式畅通。我方提供 7*24 小时售后服务，在收到采购单位通知后24小时内作出响应，48小时给客户进行远程解决方案。 (7)免费质保期届满后，若设备出现故障，我方响应时间与上述第(6)条相同。采购单位支付产品的配件成本费用及适当的人工费用，其他免费。 (8)如我方技术人员需到货物现场进行质量保证期服务，则我方技术人员的交通、食宿等费用由我方承担。我方技术人员遵守采购单位现场的各项规章制度和安全操作规程，并服从采购单位的现场管理。 (9)我方在就货物现场进行质量保证期服务的情况进行记录，记载合同货物故障发生的时间、原因及解决情况等，由采购单位签字确认，并在质量保证期结束后提交给采购单位。 (10)我方有持续的备品备件供应，在质保期后，如机器发生故障，我方承诺向用户提供优质快速有保障的维修服务，提供的备品备件，只收取成本费用。 (11)我方提供的无掩膜紫外光刻机为全新原装且未经过使用过的货物。所提供的软件保证是正版软件。