北京怀柔实验室2023年第三批科研设备采购项目评标结果公示公告1
北京怀柔实验室2023年第三批科研设备采购项目评标结果公示公告1
【中国国际招标网】
项目名称:北京怀柔实验室2023年第三批科研设备采购项目
招标项目编号:1495-234thhrlab03
招标范围:产品名称:化学机械抛光机设备数量:1台简要技术规格:化学机械抛光机是一种通过机械研磨和化学腐蚀使晶片变平并去除表面损伤层的半导体工艺设备,具体规格如下:1)适用于6英寸硅晶圆;2)抛光厚度1微米~10微米;3)厚度控制精度小于等于1微米;4)粗糙度Ra小于0.5nm;5)片内总厚度差小于等于2微米。
招标机构: (略)
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-07-20 09:30
公示开始时间:2023-07-24 16:30
评标公示截止时间:2023-07-27 23:59
中标候选人名单:
候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
---|---|---|---|
1 | 明德贸易株式会社 | 不二越工业株式会社 | 日本 |
【中国国际招标网】
项目名称:北京怀柔实验室2023年第三批科研设备采购项目
招标项目编号:1495-234thhrlab03
招标范围:产品名称:化学机械抛光机设备数量:1台简要技术规格:化学机械抛光机是一种通过机械研磨和化学腐蚀使晶片变平并去除表面损伤层的半导体工艺设备,具体规格如下:1)适用于6英寸硅晶圆;2)抛光厚度1微米~10微米;3)厚度控制精度小于等于1微米;4)粗糙度Ra小于0.5nm;5)片内总厚度差小于等于2微米。
招标机构: (略)
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-07-20 09:30
公示开始时间:2023-07-24 16:30
评标公示截止时间:2023-07-27 23:59
中标候选人名单:
候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
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