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清华大学无掩膜紫外光刻机采购项目中标公告
一项目名称：清华大学无掩膜紫外光刻机采购项目
二招标编号：清设招第*号
三仪器名称：无掩膜紫外光刻机
四品牌：赫智科技
五规格型号：TTT-07-UV Litho-ACA-Master(FI)
六数量/单位：1台
七成交金额：人民币90万元
八项目用途和简要内容：
所购置设备将用于实现微纳米尺度的功能结构与器件的制作，可做光刻胶直写以
及多层套刻直写等。
九中标供应商：赫智科技(苏州)有限公司
供应商地址：中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区新 388号22
5层08单元
招标公 ：2023 9 27
一 标 :2023 10 18
二 标 名单： 自
采购人名称：清华大学
采购人地址：currency1区清华大学，编：*
项目人： fifififl ：sbchttp://**
公 限 自 1工作 。 标商公 内容有,
公 限 7工作 内 。
清华大学实验
采购与招标公
2023 10 18
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清华大学无掩膜紫外光刻机采购项目中标公告
一项目名称：清华大学无掩膜紫外光刻机采购项目
二招标编号：清设招第*号
三仪器名称：无掩膜紫外光刻机
四品牌：赫智科技
五规格型号：TTT-07-UV Litho-ACA-Master(FI)
六数量/单位：1台
七成交金额：人民币90万元
八项目用途和简要内容：
所购置设备将用于实现微纳米尺度的功能结构与器件的制作，可做光刻胶直写以
及多层套刻直写等。
九中标供应商：赫智科技(苏州)有限公司
供应商地址：中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区新 388号22
5层08单元
招标公 ：2023 9 27
一 标 :2023 10 18
二 标 名单： 自
采购人名称：清华大学
采购人地址：currency1区清华大学，编：*
项目人： fifififl ：sbchttp://**
公 限 自 1工作 。 标商公 内容有,
公 限 7工作 内 。
清华大学实验
采购与招标公
2023 10 18
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