氧化镓外延炉自购结果公示
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氧化镓外延炉自购结果公示
| 供应商： | 山东 (略) |
|---|---|
| 中标金额： | * |
| 公示开始日期 | 2023-10-30 | 公示截止日期 | 2023-10-31 16:24:50 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 晶体材料研究所 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学新一代半导 (略) | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 氧化镓Mist-CVD外延炉 | 1 | 台 |
| 品牌 | 山东晶升 | 规格型号 | CVD-110 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1.温度覆盖范围：100~1070℃，精度±1C 2.石英外管内径：112mm,外径120mm,长度800mm 3.超声雾化装置为频率1.7-2.4Mhz可调节 4.气体流量：O2：1000sccm, Ar:5000sccm 5.衬底托：石英材质，24英寸 6.衬底托旋转转速：10转/min60转/min 7.流量控制：按质量流量计满量程精度±1% 8源瓶：不锈钢材质 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后2小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-10-30
| 供应商： | 山东 (略) |
|---|---|
| 中标金额： | * |
| 公示开始日期 | 2023-10-30 | 公示截止日期 | 2023-10-31 16:24:50 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 晶体材料研究所 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学新一代半导 (略) | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 氧化镓Mist-CVD外延炉 | 1 | 台 |
| 品牌 | 山东晶升 | 规格型号 | CVD-110 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1.温度覆盖范围：100~1070℃，精度±1C 2.石英外管内径：112mm,外径120mm,长度800mm 3.超声雾化装置为频率1.7-2.4Mhz可调节 4.气体流量：O2：1000sccm, Ar:5000sccm 5.衬底托：石英材质，24英寸 6.衬底托旋转转速：10转/min60转/min 7.流量控制：按质量流量计满量程精度±1% 8源瓶：不锈钢材质 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后2小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-10-30
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