双靶磁控溅射仪采购分散采购结果公告
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双靶磁控溅射仪采购分散采购结果公告
一、项目信息
项目名称：双靶磁控溅射仪采购
管理部门：实验室建设与设备管理处
项目编码：AXF*
采购方式：自行采购
二、采购单位信息
采购单位名称：西南大学
采购单位地址： (略) 北碚区天生路2号
联系人：卢明
三、成交信息
成交日期：2023-11-14
成交金额：*.00元(人民币)
成交供应商：重庆 (略)
供应商联系地址： (略) 北碚区天生路79号附1号703号
四、采购小组成员名单
肖航
五、项目用途及合同履行日期
项目用途：科研
合同履行日期：合同签订即日起
六、主要标的信息
| 序号 | 品目 | 商品名称 | 数量 | 计量单位 | 单价 | 型号 | 规格/详细参数 | 是否进口 | 品牌 | 产地 | 生产厂商 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 其他试验仪器及装置 | 双靶磁控溅射仪 | 1 | 套 | 199,500 | VTC-600-2HD | 1、电源电压：220V 50Hz2、功率：900W3、腔体内径：?300mm4、极限真空度：9.0×10-4Pa5、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）6、靶枪数量：2个（可选配其他数量）7、靶枪冷却方式：水冷8、靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）9、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。（靶电源种类可选，可选择两个直流电源，也可选择两个射频电源，或选则一个直流一个射频电源）10、载样台：?140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜。11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调12、工作气体：Ar等惰性气体13、进气气路：质量流量计控制2路进气，一路为100SCCM，另一路为200SCCM 1、主机尺寸：500mm×560mm×660mm2、整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm3、真空室规格：φ300×300mm配置清单主机：VTC-600-2HD，1台分子泵：1台双层旋转镀膜夹具（2023-085）：1套膜厚显示仪：TM108A ，1个石英晶片：6MHz，5个直流电源：DC-500，1个射频电源（含匹配器）：PGM-300，1个膜厚监测仪：EQ-TM106，1台冷水机：KJ-5000，1台减径直通：APG8-6 8-6，1个减径直通：APG10-06 10-6，1个不锈钢卡圈卡环：φ6 不锈钢卡圈卡环一套，2个内六角扳手：2.5 L型，1个内六角扳手：3 L型，1个内六角扳手：4 L型，1个螺丝刀：5*75 十字，1个聚酯PU管：外径6 内径4 蓝，4m真空硅脂：1个锁扣式夹板箱：1050*950*1000，1个锁扣式夹板箱：930*790*590，1个 | 否 | 科晶 | 中国 | 科晶 |
一、项目信息
项目名称：双靶磁控溅射仪采购
管理部门：实验室建设与设备管理处
项目编码：AXF*
采购方式：自行采购
二、采购单位信息
采购单位名称：西南大学
采购单位地址： (略) 北碚区天生路2号
联系人：卢明
三、成交信息
成交日期：2023-11-14
成交金额：*.00元(人民币)
成交供应商：重庆 (略)
供应商联系地址： (略) 北碚区天生路79号附1号703号
四、采购小组成员名单
肖航
五、项目用途及合同履行日期
项目用途：科研
合同履行日期：合同签订即日起
六、主要标的信息
| 序号 | 品目 | 商品名称 | 数量 | 计量单位 | 单价 | 型号 | 规格/详细参数 | 是否进口 | 品牌 | 产地 | 生产厂商 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 其他试验仪器及装置 | 双靶磁控溅射仪 | 1 | 套 | 199,500 | VTC-600-2HD | 1、电源电压：220V 50Hz2、功率：900W3、腔体内径：?300mm4、极限真空度：9.0×10-4Pa5、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）6、靶枪数量：2个（可选配其他数量）7、靶枪冷却方式：水冷8、靶材尺寸：?2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）9、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。（靶电源种类可选，可选择两个直流电源，也可选择两个射频电源，或选则一个直流一个射频电源）10、载样台：?140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜。11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调12、工作气体：Ar等惰性气体13、进气气路：质量流量计控制2路进气，一路为100SCCM，另一路为200SCCM 1、主机尺寸：500mm×560mm×660mm2、整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm3、真空室规格：φ300×300mm配置清单主机：VTC-600-2HD，1台分子泵：1台双层旋转镀膜夹具（2023-085）：1套膜厚显示仪：TM108A ，1个石英晶片：6MHz，5个直流电源：DC-500，1个射频电源（含匹配器）：PGM-300，1个膜厚监测仪：EQ-TM106，1台冷水机：KJ-5000，1台减径直通：APG8-6 8-6，1个减径直通：APG10-06 10-6，1个不锈钢卡圈卡环：φ6 不锈钢卡圈卡环一套，2个内六角扳手：2.5 L型，1个内六角扳手：3 L型，1个内六角扳手：4 L型，1个螺丝刀：5*75 十字，1个聚酯PU管：外径6 内径4 蓝，4m真空硅脂：1个锁扣式夹板箱：1050*950*1000，1个锁扣式夹板箱：930*790*590，1个 | 否 | 科晶 | 中国 | 科晶 |
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