射频电源与匹配器成交结果公告
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射频电源与匹配器成交结果公告
项目概况
| 项目名称 | 射频电源与匹配器 | 项目编号 | BH* |
| 开始时间 | 2024-03-21 11:23 | 结束时间 | 2024-03-26 11:23 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | *.00 |
| 联系电话 | * | ||
成交供应商信息
| 成交供应商 | 武汉 (略) | 成交金额 | * |
| 成交理由 | 符合需求，价格最低 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 射频电源与适配器 | 4 | 套 | * | ||
| 技术参数 | 1、射频电源 输出频率：13.56MHz±50ppm 最小功率：15W 最大功率：1500W 最大反射功率：150W，如果反射功率大于150W，射频电源会降低输出，保持 反射不大于150W。 输出阻抗：50Ω 谐波：≤-45dBc 功率误差：1%设置功率，或者0.1%最大功率。（取最大值） 功率稳定度：1%设置功率，或者0.2%最大功率。（取最大值） CEX 输入信号：标准正弦波射频信号。（输入信号功率：7dBm±0.5dBm） CEX 输出信号：标准正弦波射频信号。（输出信号功率：6.5dBm±0.5dBm） 冷却类型：风冷 1.1 输入电源特性： 电压范围：220VAC±20%（176VAC～264VAC）,3线，带地线（PE）。 频率范围：47Hz～63Hz 输入电流：*@*30VAC 浪涌电流：冷启动：*@*30VAC 功率因数：PF≥0.*@*30VAC（最大功率输出时） 效率：≥70%（输出功率大于200W，并且负载为标准50Ω时） 过流保护：用户必须安装 20A 慢断型的保险丝。 1.2 结构及接口 大小：标准19吋机箱外壳,不包含接口：19吋2U*W430mm*D485mm 重量：净重17.0Kg AC输入：IEC320 C20连接器，标准3P接口。 RF输出：标准N型连接器，母头(Female)。 用户端口：用户端口(User Port)使用标准 DB25母头(Female) 通信接口：标准DB9母头(Female)，包含RS232以及RS485 通信信号 匹配器接口：标准DB15母头(Female) CEXIn：标准BNC母头(Female) CEXOut：标准BNC母头(Female) 前面板开关：船型开关，带电源指示灯。 前面板显示：128*256 LCD图形显示器。 2、匹配器 匹配器类型：单频 负载属性：CCP 射频输入频率：13.56MHz 功率范围：50-1500W 最大传输功率：1500W 最大反射功率：<3W 或1%输入功率 最大输出电流：60a 最大输出电压：8kvpk 驻波比 <1.2 匹配方式：自动/手动 匹配范围：(1)r(0.5～35)ω+jx(-112～32)ω； (2)r(0.6～34)ω+jx(-112～31)ω 匹配时间：<3s(预设点小于1s) 冷却方式：风冷 高频可调电容器：真空可调电容 工作环境：0~50℃,湿度<85%（不结露） 工作电流：0.5a 工作电压：220vac±10% 目标阻抗：50ω rf输入接口：n母接头 rf输出接口：底部铜片、侧面削边铜柱或定制 尺寸（宽*深*高）：370*264*130mm 重量：<9千克 应用行业：磁控溅射/半导体 | |||||
| 相关材料 | 射频电源与匹配器特性指标.docx | |||||
项目概况
| 项目名称 | 射频电源与匹配器 | 项目编号 | BH* |
| 开始时间 | 2024-03-21 11:23 | 结束时间 | 2024-03-26 11:23 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | *.00 |
| 联系电话 | * | ||
成交供应商信息
| 成交供应商 | 武汉 (略) | 成交金额 | * |
| 成交理由 | 符合需求，价格最低 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 射频电源与适配器 | 4 | 套 | * | ||
| 技术参数 | 1、射频电源 输出频率：13.56MHz±50ppm 最小功率：15W 最大功率：1500W 最大反射功率：150W，如果反射功率大于150W，射频电源会降低输出，保持 反射不大于150W。 输出阻抗：50Ω 谐波：≤-45dBc 功率误差：1%设置功率，或者0.1%最大功率。（取最大值） 功率稳定度：1%设置功率，或者0.2%最大功率。（取最大值） CEX 输入信号：标准正弦波射频信号。（输入信号功率：7dBm±0.5dBm） CEX 输出信号：标准正弦波射频信号。（输出信号功率：6.5dBm±0.5dBm） 冷却类型：风冷 1.1 输入电源特性： 电压范围：220VAC±20%（176VAC～264VAC）,3线，带地线（PE）。 频率范围：47Hz～63Hz 输入电流：*@*30VAC 浪涌电流：冷启动：*@*30VAC 功率因数：PF≥0.*@*30VAC（最大功率输出时） 效率：≥70%（输出功率大于200W，并且负载为标准50Ω时） 过流保护：用户必须安装 20A 慢断型的保险丝。 1.2 结构及接口 大小：标准19吋机箱外壳,不包含接口：19吋2U*W430mm*D485mm 重量：净重17.0Kg AC输入：IEC320 C20连接器，标准3P接口。 RF输出：标准N型连接器，母头(Female)。 用户端口：用户端口(User Port)使用标准 DB25母头(Female) 通信接口：标准DB9母头(Female)，包含RS232以及RS485 通信信号 匹配器接口：标准DB15母头(Female) CEXIn：标准BNC母头(Female) CEXOut：标准BNC母头(Female) 前面板开关：船型开关，带电源指示灯。 前面板显示：128*256 LCD图形显示器。 2、匹配器 匹配器类型：单频 负载属性：CCP 射频输入频率：13.56MHz 功率范围：50-1500W 最大传输功率：1500W 最大反射功率：<3W 或1%输入功率 最大输出电流：60a 最大输出电压：8kvpk 驻波比 <1.2 匹配方式：自动/手动 匹配范围：(1)r(0.5～35)ω+jx(-112～32)ω； (2)r(0.6～34)ω+jx(-112～31)ω 匹配时间：<3s(预设点小于1s) 冷却方式：风冷 高频可调电容器：真空可调电容 工作环境：0~50℃,湿度<85%（不结露） 工作电流：0.5a 工作电压：220vac±10% 目标阻抗：50ω rf输入接口：n母接头 rf输出接口：底部铜片、侧面削边铜柱或定制 尺寸（宽*深*高）：370*264*130mm 重量：<9千克 应用行业：磁控溅射/半导体 | |||||
| 相关材料 | 射频电源与匹配器特性指标.docx | |||||
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