无掩膜紫外光刻机成交结果公告
无掩膜紫外光刻机成交结果公告
项目名称 | 无掩膜紫外光刻机 | 项目编号 | A-WZBX0949 |
---|---|---|---|
公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
采购单位 | 厦门大学 | 付款方式 | 无 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 |
预 算 | *.0 | ||
收货地址 | 物理楼114室 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
无掩膜紫外光刻机 | 1 | 台 | 无 |
品牌 | 无 |
---|---|
型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | *.0 |
技术参数及配置要求 | 1.★光刻精度:至少支持两个光刻镜头:光刻镜头1:最小线宽≤1.2 μm,工作距离≥19 mm;光刻镜头2:最小线宽≤0.8 μm,工作距离≥12 mm2.★具备交互式套刻指引功能3.▲具备图像识别对焦功能4.★支持光刻镜头电动切换5.曝光波长:405 nm6.★数字掩模板分辨率:≥1920 * 1080,微镜尺寸≤7.6 um7.显微观测:支持显微观测且不会引起光刻胶变性8.▲样品厚度:≥8 mm9.▲样品尺寸:≥80 mm *80 mm10.★支持样品电动旋转11.样品吸附:支持样品吸附12.★设备软件: 原位光绘功能物像绑定功能成像拼接功能畸变矫正功能13.画图软件:支持阵列画图、套刻画图 |
售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1年免费质保期; |
项目名称 | 无掩膜紫外光刻机 | 项目编号 | A-WZBX0949 |
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公告开始日期 | * | 公告截止日期 | * |
采购单位 | 厦门大学 | 付款方式 | 无 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 |
预 算 | *.0 | ||
收货地址 | 物理楼114室 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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无掩膜紫外光刻机 | 1 | 台 | 无 |
品牌 | 无 |
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型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | *.0 |
技术参数及配置要求 | 1.★光刻精度:至少支持两个光刻镜头:光刻镜头1:最小线宽≤1.2 μm,工作距离≥19 mm;光刻镜头2:最小线宽≤0.8 μm,工作距离≥12 mm2.★具备交互式套刻指引功能3.▲具备图像识别对焦功能4.★支持光刻镜头电动切换5.曝光波长:405 nm6.★数字掩模板分辨率:≥1920 * 1080,微镜尺寸≤7.6 um7.显微观测:支持显微观测且不会引起光刻胶变性8.▲样品厚度:≥8 mm9.▲样品尺寸:≥80 mm *80 mm10.★支持样品电动旋转11.样品吸附:支持样品吸附12.★设备软件: 原位光绘功能物像绑定功能成像拼接功能畸变矫正功能13.画图软件:支持阵列画图、套刻画图 |
售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1年免费质保期; |
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