无掩膜紫外光刻机成交结果公告

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无掩膜紫外光刻机成交结果公告

项目名称无掩膜紫外光刻机项目编号A-WZBX0949
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位厦门大学付款方式
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签约后30个工作日内
预 算*.0
收货地址物理楼114室
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
无掩膜紫外光刻机1
品牌
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
预算*.0
技术参数及配置要求1.★光刻精度:至少支持两个光刻镜头:光刻镜头1:最小线宽≤1.2 μm,工作距离≥19 mm;光刻镜头2:最小线宽≤0.8 μm,工作距离≥12 mm2.★具备交互式套刻指引功能3.▲具备图像识别对焦功能4.★支持光刻镜头电动切换5.曝光波长:405 nm6.★数字掩模板分辨率:≥1920 * 1080,微镜尺寸≤7.6 um7.显微观测:支持显微观测且不会引起光刻胶变性8.▲样品厚度:≥8 mm9.▲样品尺寸:≥80 mm *80 mm10.★支持样品电动旋转11.样品吸附:支持样品吸附12.★设备软件: 原位光绘功能物像绑定功能成像拼接功能畸变矫正功能13.画图软件:支持阵列画图、套刻画图
售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1年免费质保期;
项目名称无掩膜紫外光刻机项目编号A-WZBX0949
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采购单位厦门大学付款方式
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签约时间要求到货时间要求签约后30个工作日内
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技术参数及配置要求1.★光刻精度:至少支持两个光刻镜头:光刻镜头1:最小线宽≤1.2 μm,工作距离≥19 mm;光刻镜头2:最小线宽≤0.8 μm,工作距离≥12 mm2.★具备交互式套刻指引功能3.▲具备图像识别对焦功能4.★支持光刻镜头电动切换5.曝光波长:405 nm6.★数字掩模板分辨率:≥1920 * 1080,微镜尺寸≤7.6 um7.显微观测:支持显微观测且不会引起光刻胶变性8.▲样品厚度:≥8 mm9.▲样品尺寸:≥80 mm *80 mm10.★支持样品电动旋转11.样品吸附:支持样品吸附12.★设备软件: 原位光绘功能物像绑定功能成像拼接功能畸变矫正功能13.画图软件:支持阵列画图、套刻画图
售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1年免费质保期;
    
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