是否接受进口

拒绝进口

品牌

北京 (略)

型号

MGDT-1

生产厂商

北京 (略)

产地信息

(略) 怀柔区雁栖 (略) 13号楼二层

技术规格及参数

1.溅射室极限真空度：≤6.0x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
真空获得采用FF150/700分子泵和优质机械泵（RVP-9,9L/S）+CF150电动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到7x10-4 Pa；
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa
2，溅射室中配有3套国产50mm高性能永磁共焦磁控溅射靶（其中含一个强磁靶,各溅射靶距离可调），靶材尺寸：Ф50mm。分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，垂直向下溅射成膜，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板截流结构。磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：60~90mm。
3.样品台布置在真空室底部，可放置最大直径100mm样品，样品具有连续旋转功能，旋转0—30转/分连续可调。
4.加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和1个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～500°C，连续可调；
5.系统配有三路国产怡东质量流量计+MFC控制进气系统（氩、氧、氧），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM。 共3路,配备独立混气室；
6.系统配有2台数字式500w脉冲直流电源和1台500w全自动匹配射频电源。1套-1000脉冲偏压电源；
7.加热装置在采用进口氮化钽加热器进行加热，加热温度：室温—1100°C，可耐氧气、耐氮气进行化学反应沉积，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。
8.尺寸为4英寸的样品可均镀膜，不均匀度 为≤±3%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约200nm）
9.后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发；

质保期

质保期为一年

售后要求

1、设备安装、调试和验收:在合同生效后的1个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询;仪器到达用户指定交货地点后根据用户的时间安排，仪器制造商 (或代理商)在接到用户通知后15天内进行安装调试，直至通过验收 2、技术培训:在用户所在地对用户技术人员(至少2人) 进行至少两天的培训，培训日程视实际情况另走;培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 3、厂家保证提供及时优质的售后服务，提供7x24小时的售后服务，接到用户需求后8小时内响应，如有需要48小时内到达用户现场。 4、质保期过后，对仪器提供终身维修服务，能提供广泛、即时、优惠的技术服务，并提供质品上乘、价格合理的各种配件。 5、后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发

是否接受进口

拒绝进口

品牌

北京 (略)

型号

MGDT-1

生产厂商

北京 (略)

产地信息

(略) 怀柔区雁栖 (略) 13号楼二层

技术规格及参数

1.溅射室极限真空度：≤6.0x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
真空获得采用FF150/700分子泵和优质机械泵（RVP-9,9L/S）+CF150电动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到7x10-4 Pa；
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa
2，溅射室中配有3套国产50mm高性能永磁共焦磁控溅射靶（其中含一个强磁靶,各溅射靶距离可调），靶材尺寸：Ф50mm。分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，垂直向下溅射成膜，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板截流结构。磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：60~90mm。
3.样品台布置在真空室底部，可放置最大直径100mm样品，样品具有连续旋转功能，旋转0—30转/分连续可调。
4.加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和1个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～500°C，连续可调；
5.系统配有三路国产怡东质量流量计+MFC控制进气系统（氩、氧、氧），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM。 共3路,配备独立混气室；
6.系统配有2台数字式500w脉冲直流电源和1台500w全自动匹配射频电源。1套-1000脉冲偏压电源；
7.加热装置在采用进口氮化钽加热器进行加热，加热温度：室温—1100°C，可耐氧气、耐氮气进行化学反应沉积，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。
8.尺寸为4英寸的样品可均镀膜，不均匀度 为≤±3%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约200nm）
9.后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发；

质保期

质保期为一年

售后要求

1、设备安装、调试和验收:在合同生效后的1个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询;仪器到达用户指定交货地点后根据用户的时间安排，仪器制造商 (或代理商)在接到用户通知后15天内进行安装调试，直至通过验收 2、技术培训:在用户所在地对用户技术人员(至少2人) 进行至少两天的培训，培训日程视实际情况另走;培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 3、厂家保证提供及时优质的售后服务，提供7x24小时的售后服务，接到用户需求后8小时内响应，如有需要48小时内到达用户现场。 4、质保期过后，对仪器提供终身维修服务，能提供广泛、即时、优惠的技术服务，并提供质品上乘、价格合理的各种配件。 5、后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发