等离子体清洗机网上比选采购评审结果公示

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等离子体清洗机网上比选采购评审结果公示

项目名称等离子体清洗机项目编号招设2024C00221
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位上海交通大学付款方式100%L/C,90%即期,10%验收合格后支付
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签订合同后3个月内
预 算*.0
收货地址CIP上海交通大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
等离子体清洗机1金属表面处理设备
品牌
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
预算*.0
技术参数及配置要求1.可容纳最大样品尺寸不小于200mm*200mm的方形或8英寸的标准晶圆。2.RF电源13.13.56MHz / 20-300W 可调。3.处理后整片不均匀性小于5%。4.运行操作压力5 mtorr以内。5.配备可选择的工艺菜单。6.配备液晶显示屏。
售后服务
项目名称等离子体清洗机项目编号招设2024C00221
公告开始日期*公告截止日期*
采购单位上海交通大学付款方式100%L/C,90%即期,10%验收合格后支付
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签订合同后3个月内
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技术参数及配置要求1.可容纳最大样品尺寸不小于200mm*200mm的方形或8英寸的标准晶圆。2.RF电源13.13.56MHz / 20-300W 可调。3.处理后整片不均匀性小于5%。4.运行操作压力5 mtorr以内。5.配备可选择的工艺菜单。6.配备液晶显示屏。
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