旋涂机自购结果公示
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旋涂机自购结果公示
| 供应商： | (略) |
|---|---|
| 中标金额： | * |
| 公示开始日期 | 2024-08-02 | 公示截止日期 | 2024-08-03 17:51:08 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 化 (略) | 付款方式 | 货到验收合格后15个工作日付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 旋涂机 | 1 | 台 |
| 品牌 | (略) 微电子研究所 | 规格型号 | KW - 4T |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 型号 KW - 4T 转速 250-9000 RPM, 各阶段速度可任意调节 转速稳定性 1RPM 旋涂均匀性（一致性） <1%（片内）； <1%（片间） 基片尺寸 Φ5-Φ100mm 圆片， 最大 100mm×100mm 方片 显示/程序控制 全触摸屏操作，快速启动，人性化界面，适合专业用户的需求 工艺阶段 6 步工艺调速设计，最大单步旋涂时间：1800S，可根据客户需求增加 整机尺寸（mm 3） 210mm×280mm×248mm 适应材料/工艺支持 适合硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs， GaN， InP 等各种材料及工艺服务 特殊夹具定制 20 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品 电机功率 40W 真空泵抽气速率 >60L/min | ||
| 售后服务 | (略) 点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-08-02
| 供应商： | (略) |
|---|---|
| 中标金额： | * |
| 公示开始日期 | 2024-08-02 | 公示截止日期 | 2024-08-03 17:51:08 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 化 (略) | 付款方式 | 货到验收合格后15个工作日付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 旋涂机 | 1 | 台 |
| 品牌 | (略) 微电子研究所 | 规格型号 | KW - 4T |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 型号 KW - 4T 转速 250-9000 RPM, 各阶段速度可任意调节 转速稳定性 1RPM 旋涂均匀性（一致性） <1%（片内）； <1%（片间） 基片尺寸 Φ5-Φ100mm 圆片， 最大 100mm×100mm 方片 显示/程序控制 全触摸屏操作，快速启动，人性化界面，适合专业用户的需求 工艺阶段 6 步工艺调速设计，最大单步旋涂时间：1800S，可根据客户需求增加 整机尺寸（mm 3） 210mm×280mm×248mm 适应材料/工艺支持 适合硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs， GaN， InP 等各种材料及工艺服务 特殊夹具定制 20 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品 电机功率 40W 真空泵抽气速率 >60L/min | ||
| 售后服务 | (略) 点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-08-02
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