微型高低温探针台结果公示

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微型高低温探针台结果公示

采购结果详细(*)---- 中山大学
申购单主题: 微型高低温探针台 申购单位: 微电子科 (略)
申购备注:
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务
微型高低温探针台 郑州 (略) KT-Z4019MRL4T 1 国内含税价/人民币
规格 1.腔体材质:304不锈钢 2.腔体内尺寸:127mmX57mmX20mm3.腔体外尺寸:150mmX80mmX32mm4.腔体重量:不锈钢材质 约1.5KG 5.腔体上视窗尺寸:Φ42mm6.腔体抽气口:KF16法兰7.腔体真空测量口:KF16法兰8.腔体进气口:6mm快拧 或 6mm快插9.腔体冷却方式:自然冷却10.腔体水冷接口: 6mm快插11.允许正压:≤0.05MPa12.腔体真空度:机械泵≤5Pa 13.样品台尺寸: 26x26mm14.样品台加热方式:电阻加热 液氮制冷 15.样品台-视窗 距离:11mm16.样品台测温传感器: PT100型热电阻17.样品台温度:室温到400℃ 室温到-196℃18.样品台测温误差:±0.5℃19.样品台升温速率:高温100℃/min 最大值 低温7℃/min20.温度显示: 7寸人机界面21.温控类型:标准PID温控 +自整定22.温度分辨率:0.1℃23.温控精度:±0.5℃24.温度信号输入类型:PT100 25.温控输出:直流线性电源加热+液氮流速控制器26.辅助功能:温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口27.温控器尺寸:32cmX170cmX380cm28.温控器重量:约5.6KG29.电信号接头:配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米30.电学性能:绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA31.探针数量:4探针32.探针材质:镀金钨针 33.探针尖:10μm34.X轴移动行程:20mm ±10mm(需手动推动滑台)35.X轴控制精度:≥500μm36.R轴移动行程:120° ±60°(需手动旋转探针杆)37.R轴控制精度:≥500μm38.Z轴移动行程:2mm ±1mm39.Z轴控制精度:≤50μm(需手动螺纹调节探针杆)配置要求: 1. 1台 · 微型高低温探针台 2. 1台 · 触摸屏温控箱 (温控误差:+/-0.5C热电偶类型:PT100 高精度传感器温控方式: 7 寸人机界面 PID 温控器程序控温: 30 段程序控温(可选 1 段程序控温)输出功率: <=360W供电电源: AC220V可扩展接口: 扩展:真空度显示, 扩展: RS232/485 外接通讯) 3. 1台 · 机械泵 (抽速: 50HZ: m3/h(L/s)4(1.1)电源 :单相 )
中标供应商 单价 初选理由
郑州 (略) * 最低价原则


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微型高低温探针台 郑州 (略) KT-Z4019MRL4T 1 国内含税价/人民币
规格 1.腔体材质:304不锈钢 2.腔体内尺寸:127mmX57mmX20mm3.腔体外尺寸:150mmX80mmX32mm4.腔体重量:不锈钢材质 约1.5KG 5.腔体上视窗尺寸:Φ42mm6.腔体抽气口:KF16法兰7.腔体真空测量口:KF16法兰8.腔体进气口:6mm快拧 或 6mm快插9.腔体冷却方式:自然冷却10.腔体水冷接口: 6mm快插11.允许正压:≤0.05MPa12.腔体真空度:机械泵≤5Pa 13.样品台尺寸: 26x26mm14.样品台加热方式:电阻加热 液氮制冷 15.样品台-视窗 距离:11mm16.样品台测温传感器: PT100型热电阻17.样品台温度:室温到400℃ 室温到-196℃18.样品台测温误差:±0.5℃19.样品台升温速率:高温100℃/min 最大值 低温7℃/min20.温度显示: 7寸人机界面21.温控类型:标准PID温控 +自整定22.温度分辨率:0.1℃23.温控精度:±0.5℃24.温度信号输入类型:PT100 25.温控输出:直流线性电源加热+液氮流速控制器26.辅助功能:温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口27.温控器尺寸:32cmX170cmX380cm28.温控器重量:约5.6KG29.电信号接头:配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米30.电学性能:绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA31.探针数量:4探针32.探针材质:镀金钨针 33.探针尖:10μm34.X轴移动行程:20mm ±10mm(需手动推动滑台)35.X轴控制精度:≥500μm36.R轴移动行程:120° ±60°(需手动旋转探针杆)37.R轴控制精度:≥500μm38.Z轴移动行程:2mm ±1mm39.Z轴控制精度:≤50μm(需手动螺纹调节探针杆)配置要求: 1. 1台 · 微型高低温探针台 2. 1台 · 触摸屏温控箱 (温控误差:+/-0.5C热电偶类型:PT100 高精度传感器温控方式: 7 寸人机界面 PID 温控器程序控温: 30 段程序控温(可选 1 段程序控温)输出功率: <=360W供电电源: AC220V可扩展接口: 扩展:真空度显示, 扩展: RS232/485 外接通讯) 3. 1台 · 机械泵 (抽速: 50HZ: m3/h(L/s)4(1.1)电源 :单相 )
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